中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明，压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因，采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿，均能有效地提高片内频率一致性，频率2 MHz内包含最大器件数量占比，从常规曝光的48.81%提高到抗反射膜工艺的53.57%和分区曝光工艺的70.24%。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 曝光补偿 频率一致性 piezoelectric-on-insulator wafer antireflective film exposure compensation frequency consistency
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
2 中国电子科技集团公司第四十四研究所, 重庆 400060
单晶薄膜声表面波(SAW)滤波器因其低损耗, 低频率温度系数及大带宽而成为高性能SAW滤波器未来发展的方向。针对单晶薄膜衬底反射带来的换能器指条锯齿和均匀性恶化的问题, 该文采用了有机抗反射膜工艺, 通过控制抗反射膜的膜厚将衬底的相对反射率由15.84%降低至1.08%, 制作出整齐无毛刺的叉指换能器指条, 并将SAW谐振器的伯德Q（Bode-Q）值由1 400提升到1 950。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 光刻 伯德Q值 piezoelectric single crystal thin film substrate antireflective film lithography Bode-Q
具有宽带高吸收特性的吸收器是太阳能利用的关键。设计了一种含有抗反射层的基于二维光子晶体结构的太阳能吸收器,其中砷化镓(GaAs)作为吸收介质,被填充到具有四方晶格结构的二维光子晶体的钨(W)基底圆形空腔中。采用有限元法进行了模拟计算分析,结果表明,在300~2500 nm的波长范围内,吸收器的平均吸收率为92.5%,有效吸收率高达94.9%,入射仰角为50°时,有效吸收率仍有90.13%。该结构具有全太阳光谱高吸收、偏振不敏感和广角吸收等特点。研究结果为高性能太阳能吸收器的设计提供了参考。
材料 太阳能吸收器 二维光子晶体 抗反射膜 吸收谱 全太阳光谱
1 河海大学物联网工程学院, 江苏 常州 213022
2 江苏省输配电装备技术重点实验室, 江苏 常州 213022
3 常州市传感网与环境感知重点实验室, 江苏 常州 2130222
4 麦吉尔大学物理系, 魁北克 蒙特利尔 H3A2T8
利用严格耦合波分析法(RCWA)分别计算了五种不同形貌的亚波长浮雕结构的太阳能电池抗反射膜性能，分别从占空比、光栅高度和周期等结构参数以及入射光角度进行模拟。研究结果表明：周期为200 nm，高度为400 nm，占空比为1的金字塔型浮雕结构的抗反射效果令人满意，且平均反射率低于1%；光波的入射角对光栅的反射率影响较大，光波在光栅法线的角度控制在40°以下合适。通过对亚波长浮雕结构的反射特性模拟和分析，为太阳能电池抗反射膜设计与制作提供理论支持。
亚波长浮雕结构 太阳能电池 抗反射膜 严格耦合波分析法 模拟 subwavelength relief structure solar cells antireflection structures rigorous coupledwave analysis simulation
InSb焦平面器件经过减薄后，表面有细微的划痕，且存在一定厚度的损伤层，影响芯片性能。通过对InSb焦平面器件表面末处理工艺方法的探索，确定了器件抛光后，去除表面损伤层和表面溅射ZnS抗反射膜的工艺实施方案，有效地改善了器件的表面质量，提高了焦平面器件的性能。
焦平面器件 腐蚀 抗反射膜 focal plane device corrosion antireflection layer
1 重庆邮电学院光电学院,重庆,400065
2 重庆光电技术研究所,重庆,400060
分析了设计超辐射发光二极管抗反射膜的光导纳法,介绍了有效折射率的概念.选用TiO3和SiO2两种材料给出了中心波长为850 nm时的设计实例.结果表明设计时要考虑有效折射率,才能获得好的性能.
超辐射发光二极管 抗反射膜 光导纳法 有效折射率 superluminescent diodes antireflection coatings optical admittance approach effective refractive index
