1 西南科技大学 材料科学与工程学院, 四川 绵阳 621010
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳621900
3 电子科技大学 微电子与固体电子学院, 成都 610054
采用自行设计的微球电沉积装置, 建立了空心聚苯乙烯(PS)微球的电化学沉积金工艺。实验条件为：电源输出电压0.7~0.8 V, 电流密度2.0 mA·cm－2, 镀液温度45 ℃, 阴极转速250 r·min－1, 镀液流速7 mL·min－1·cm－2。在此工艺条件下制得的空心金微球对称性和厚度均匀性良好, 表面粗糙度低于500 nm, 微球表面沉积金速率约为6 μm·h－1。
电沉积 空心微球 金 靶丸 沉积速率 electrodepositing hollow micro-sphere gold target depositing speed 强激光与粒子束
2010, 22(12): 2889
