作者单位
摘要
上海交通大学 电子信息与电气工程学院 仪器科学与工程系,上海 200240
针对一套数字全息装置只能测量离面位移这一个维度位移的局限性问题,将数字全息与数字图像相关方法相结合,利用数字全息重建的强度图像,实现了面内另外两个维度位移的测量,拓宽了一套数字全息装置的测量能力。该方法对待测物体位移前后的全息图数值重建得到两幅强度图,然后对变形前后的强度图应用数字图像相关方法得到面内两个维度位移的测量结果。该方法中采用的数字全息的强度图本质上是激光散斑图,而不是传统数字图像相关使用的白光下或自然光下的表面喷涂散斑或者物体自然纹理,因此是对数字图像相关方法应用于激光散斑图像的有益探索。最后通过二维位移装置对平面施加面内方向位移的实验验证了数字图像相关方法对于数字全息重建的激光散斑图在面内位移测量的有效性。最后,讨论了基于数字全息对曲面物体利用数字图像相关进行面内位移测量的可行性。传统的二维数字图像相关方法由于有限焦深导致散斑退相关现象,因而无法对曲面物体进行面内位移测量。但是,借助数字全息技术在一幅全息图中能将物体聚焦到不同深度的能力,可以将曲面物体分割为不同深度部分开展二维数字图像相关测量。本文从理论上讨论了该方法的可行性,并在实验上遍历了不同深度的DH重建对曲面物体面内位移的测量准确性的影响,为数字图像相关方法借助数字全息技术的辅助对曲面物体面内位移的测量进行了有益探索。
数字全息 数字图像相关 面内位移测量 曲面物体 激光散斑 Digital holography Digital image correlation In-plane displacement Curved object Laser speckle 
光子学报
2022, 51(4): 0409002
赵冉 1,2王雅楠 3李苗 3刘波 1,2[ ... ]贾金升 1,2,4,*
作者单位
摘要
1 中国建筑材料科学研究总院 绿色建筑材料国家重点实验室,北京 100024
2 太阳能与建筑节能玻璃材料加工技术北京市重点实验室,北京 100024
3 中科信工程咨询(北京)有限责任公司,北京 100039
4 中建材光芯科技有限公司,山东 枣庄 277100
为实现工业生产中光纤传像材料的微纳米尺度形变的检测,建立了图像楔面化模型,提出了一种基于光流的离面位移测量技术。实验装置由一部带有工业相机的光学显微镜和一个放置倒像器的支架构成,通过支架的倾斜可对光纤传像材料加载形变。首先,在显微镜下用工业相机采集变形前后的两幅二维图像。接着,用Brox光流算法得到两幅图像之间的光流运动场。最后,根据图像楔面化模型,由两幅图像之间的光流场得到两幅图像之间的离面位移场并分析了实验结果。实验结果表明,在光学放大50倍的显微镜下多次测量结果的绝对误差均小于0.1 μm,相对误差均小于2%。该方法只需要一部工业相机拍摄显微镜下两幅图像即可完成测量,提取离面位移时无需转换到频域和相位解包操作,适合动态原位测量。该方法测量误差较小,目前已被应用于光纤传像材料的微纳米尺度形变与均匀度工业监测。
离面位移提取 工业检测 光流场 光纤传像材料 动态监测 Out-of-plane displacement extraction Industrial detection Optical flow field Optical fiber material Dynamic monitoring 
光子学报
2021, 50(12): 1212002
赵冉 1,2,*洪志伟 3陆菁 3张洋 1,2,4[ ... ]贾金升 1,4
作者单位
摘要
1 中国建筑材料科学研究总院有限公司, 绿色建筑材料国家重点实验室, 北京 100024
2 太阳能与建筑节能玻璃材料加工技术北京市重点实验室, 北京 100024
3 中科信工程咨询(北京)有限责任公司, 北京 100039
4 中建材光芯科技有限公司, 山东 枣庄 277100
为实现工业生产中光纤传像材料的微纳米尺度形变监测,基于数字散斑相关理论提出了一种测量离面位移的新方法。运用数字散斑相关算法测得材料变形前后两幅图像之间的面内位移,然后根据楔面化模型即可得到光纤传像材料在显微镜下的离面位移场。介绍了离面位移提取算法的原理,并基于球面化理论对光纤传像材料离面位移测量进行了计算机模拟和实验测试,模拟结果与实验结果均表明该方法可以由二维图像中直观的面内位移直接提取离面位移,可以完成光纤传像材料的实时形变测量。该方法的优点为实验装置十分简单,只需要一部工业相机拍摄显微镜下两幅图像即可完成测量,提取离面位移时无需转换到频域和相位解包操作,适合于动态测量。
测量 数字散斑相关理论 离面位移 光纤材料 动态监测 工业检测 
光学学报
2021, 41(17): 1712002
作者单位
摘要
1 北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 北京 100871
2 工业和信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室, 广东 广州 510610
基于硅-玻璃键合工艺实现敏感结构和衬底相接是微惯性器件的主流工艺方案之一。硅和玻璃热膨胀系数不同, 在惯性器件环境工作温度发生变化时, 硅玻璃接触表面会产生热应力, 该应力严重影响器件的性能。为了测量异质材料间的热失配应力以及键合锚点尺寸对应力的影响, 本文提出了一种以悬臂梁作为测试结构的锚点形变测量和数据处理方法, 用于表征器件的工艺热失配应力。根据仿真结果将锚点设计成切块形式以减小最大应力和结构形变。测试结果表明, 对于边长为600, 400和200 μm的锚点, 悬臂梁相对锚点的平均离面位移分别为0.43,0.30和0.20 nm/℃; 结果具有良好的重复性。该结果说明锚点热形变与锚点的大小直接相关, 这对MEMS惯性结构以及工艺设计改进具有重要的意义。
微惯性器件 热失配应力 悬臂梁 测量方法 离面位移 micro-inertial device thermal mismatch stress cantilever beam measurement method off-plane displacement 
光学 精密工程
2020, 28(8): 1715
作者单位
摘要
河海大学力学与材料学院, 江苏 南京 211100
受离面刚体位移的影响,普通二维数字图像相关(DIC)方法测得的应变结果往往精度较差。基于双45°双反射镜成像技术,提出了一种改进的二维DIC方法来提高应变测量精度。利用双反射镜成像,将试样正反面散斑图案记录到同一张图像中,对左右图像中对应点的应变取平均值,可自动消除试样离面刚体位移的影响,获得准确的全场应变。开展了两组拉伸实验来验证该方法的可行性。实验结果表明:对于均匀变形,由改进的二维DIC方法得到的双向应变与电测法的结果相吻合;对于非均匀变形,得到的结果与有限元法结果相一致。因此,本文提出的二维DIC方法具有较高的应变测量精度,是一种便捷、有效、高精度的应变测量方法。
测量 数字图像相关 应变场 双反射镜成像 应变测量精度 离面位移 
光学学报
2019, 39(12): 1212002
作者单位
摘要
河海大学 力学与材料学院, 江苏 南京 211100
基于数字图像相关(DIC)方法的光学引伸计在应变测量领域有着广泛的应用。为了提高数字图像相关方法的测量精度, 本文采用二维DIC与三维DIC的光学引伸计、基于双45°反射镜成像的二维光学引伸计以及电测法, 对单轴拉伸试验中不锈钢试件的应变进行同时测量, 比较分析了各个光学引伸计在测量轴向与横向应变方面的优劣以及误差产生的原因。实验结果表明: 试件离面运动的存在大幅降低了普通二维光学引伸计的应变精度; 基于双45°反射镜成像的二维光学引伸计可以有效消除离面刚体位移对测量结果的影响, 其应变测量精度(尤其是横向应变精度)高于其他光学引伸计, 且测量结果与电测法的测量结果高度吻合; 三维DIC光学引伸计的横向应变精度明显不如轴向应变精度。
数字图像相关 光学引伸计 双反射镜成像 应变测量精度 离面位移 digital image correlation optical extensometer dual-reflector imaging strain measurement accuracy out-of-plane displacement 
光学 精密工程
2018, 26(5): 1061
作者单位
摘要
昆明理工大学 理学院 激光研究所, 昆明 650500
散斑照相计算面内位移时, 传统算法直接使用散斑图傅里叶变换的功率谱信息, 最小可检测位移量会受到散斑尺寸的限制。为了解决这一问题, 采用基于傅里叶变换相位信息的新算法进行了理论分析, 证明了新方法中最小和最大可检测位移量取决于所用光电转换器件(如CCD或CMOS)的像元间距和光敏面大小, 与散斑尺寸无关。结果表明, 该方法的测量范围最小可达2pixel间距, 最大可达光电转换器件光敏面宽度的一半。实验测量与理论值吻合。
傅里叶光学 散斑计量 相位法 散斑照相 面内位移 Fourier optics speckle metrology phase method speckle photography in-plane displacement 
激光技术
2017, 41(4): 473
孙海滨 1,2,*孙平 1
作者单位
摘要
1 山东师范大学 物理与电子科学学院, 济南 250014
2 泰山学院 物理与电子工程学院, 山东 泰安 271000
设计了基于光学涡旋相移技术的离面位移测量实验方案, 实现了电子散斑干涉中相移的数字控制.该方法利用输入液晶空间光调制器中的叉形光栅产生涡旋光束, 通过涡旋光束绕轴的旋转产生相移;同时, 产生的涡旋光束又作为参考光与物光干涉.实验中, 在物体发生离面位移前后依次输入四幅叉形光栅, 产生相移步长为π/2的涡旋光束, 利用CCD获得涡旋光与物光的干涉光场, 从而获得离面位移场的包裹相位;再通过解包裹, 获得物体离面变形的相位变化.光学涡旋相移法可应用于离面位移测量.
光学测量 光学涡旋相移 离面位移 空间光调制器 Optical measurement Optical vortex phase shifting Out-of-plane displacement Spatial light modulator 
光子学报
2016, 45(11): 1112001
作者单位
摘要
中国民航大学 电子信息与自动化学院, 天津 300300
针对传统频域数字散斑相关法在测量物体面内位移测量精度较低的问题, 提出一种基于分形插值的频域数字散斑相关法。该方法在频域数字散斑相关法的基础上, 引入Hanning窗函数对图像进行滤波处理, 克服了图像边缘效应对最终位移值的影响; 同时利用散斑图像的子区域与整幅图像在结构形态和灰度特征的自相似性, 采用分形插值的方法进行亚像素插值, 进而能精确定位相关点, 得到更精确的亚像素位移值。实验结果表明: 该方法保持了频域散斑相关法的测量速度, 且将测量的绝对误差降低在0.01~0.03 pixel以内, 并进一步通过刚体平移实验测试了算法的可靠性。
面内位移测量 频域 数字散斑相关法 Hanning窗函数 分形插值 in-plane displacement measurement frequency domain digital speckle correlation method Hanning window function fractal interpolation 
红外与激光工程
2016, 45(9): 0917004
作者单位
摘要
中北大学计算机与控制工程学院, 山西 太原 030051
提出了一种二维方向小波构造的新型散斑相位奇异法测量面内微位移。根据二维方向小波的极化分析能力,选取旋转角度为π/2,分别对位移前后的图像进行x 和y 方向的极化分析,构造了一种网状结构的分布稳定的相位奇异点图;提出了两步位移测量的新方法,通过两次傅里叶变换和减运算输出的两个相关亮点图像得到初步位移量,由初步位移的半网格宽度和匹配最邻近奇异点对间的位移求待测物体的精确位移;分别进行仿真模拟和激光鼠标定位实验。结果表明,奇异点在不同噪声条件下的正确匹配率在90%以上,实际的鼠标位移和方向与测量值的鼠标位移和方向之间的误差小于0.5 pixel 和1°。该方法具有奇异点正确匹配率高、测量精度高、对噪声不敏感、稳定性好等优点,能够精确定位激光鼠标的位移和方向。
测量 二维方向小波 相位奇异 面内微位移 激光鼠标 
中国激光
2015, 42(11): 1108002

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