作者单位
摘要
华北光电技术研究所,北京100015
台面型锑化铟红外焦平面探测器的制作工艺简单,量子效率高,但是填充因子较低且会随着像元尺寸的减小而进一步降低。减小台面腐蚀深度可以提高探测器的填充因子,但会增大串音。介绍了一种新型微透镜阵列的设计与制备方法,以提高锑化铟红外探测器的填充因子并减小串音。与现有的热回流微透镜阵列相比,该微透镜阵列的填充率、表面粗糙度以及尺寸均匀性能得到了较好的兼顾,可直接在锑化铟红外探测器表面制作,工艺简单。结果显示,探测器的串音降低26%,光响应提高22%。
红外焦平面探测器 锑化铟 微透镜阵列 infrared focal plane detector InSb microlens array 
红外
2023, 44(9): 0023
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第十一研究所, 北京100015
随着红外焦平面探测器阵列规模的不断扩大,由多层结构低温热失配形变导致的杜瓦可靠性问题愈发突出,对焦面低温形变的定量化表征需求越来越迫切。基于超长线列红外焦平面探测器冷箱组件开展焦面低温形变研究,针对多层结构粘接造成的焦面低温形变进行了理论仿真。设计了一种探测器工作温度90 K下焦面低温形变的测试方法。对比分析面形测试结果与仿真计算,低温下焦面整体下移,但变形曲线呈拱形。仿真得出两边芯片向下凹约924 m,中间位置芯片向下凹136 m。实验得出两边芯片向下凹约40 m,中间位置芯片向下凹10 m。数据差异与仿真材料的参数设置有关。验证了仿真结果的合理性,可为超长线列探测器焦面多层结构设计提供参考依据。
低温形变 理论仿真 面形测试 材料参数 红外焦平面探测器 low-temperature deformation theoretical simulation profile test material parameters infrared focal plane detector 
红外
2023, 44(9): 0016
作者单位
摘要
华北光电技术研究所, 北京100015
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope, FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势。基于该系统的高分辨率、原位加工及观测的特点, 研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用。详细介绍了用FIB-SEM系统定位问题像元的方法和修复电路的具体过程, 并阐明了它对红外焦平面探测器研制的重要作用。该系统是高性能红外探测器研制过程中不可或缺的重要表征手段。
红外焦平面探测器 聚焦离子束扫描电子显微镜 电路修复 infrared focal plane detector FIB-SEM circuit repair 
红外
2022, 43(2): 34
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南 昆明 650223
研制出一款小像元10 μm中心距红外焦平面探测器CMOS(complementary metal oxide semiconductor)读出电路ROIC(read out integrated circuit)。读出电路设计包括积分后读出(integration then reading,ITR)和积分同时读出(integration while reading,IWR)模式,ITR模式下有2档增益,电荷满阱容量分别为4.3 Me?和1.6 Me?,其他功能包括抗晕、串口功能控制以及全芯片电注入测试功能。读出电路采用0.18 μm工艺,电源电压3.3 V,测试结果表现出良好的性能:在77 K条件下,全帧频100 Hz,读出电路噪声小于0.2 mV。本文介绍了该款读出电路设计的基本架构,分析了在小的积分电容下电路抗干扰能力的设计。在测试过程中,发现了盲元拖尾现象,分析了拖尾现象产生的原因,为解决拖尾现象设计了抗晕管栅压产生电路,最后给出了整个电路的测试结果。
小像元间距 读出电路 红外焦平面探测器 small pixel,ROIC,infrared focal plane detector 
红外技术
2021, 43(9): 902
作者单位
摘要
1 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
2 西北工业大学 自动化学院,陕西 西安 710072
针对隐身等多类高价值目标精确探测与识别以及探测技术持续发展需求,为实现复杂战场环境下的高概率真假目标识别和高精度目标检测、定位、跟踪,开展复杂战场环境下隐身及微弱特征目标探测及抗干扰探测等技术研究意义重大,其中高集成度的焦平面型偏振红外探测器技术是其中一个重要方向。围绕集成式中波(MW)256×256碲镉汞红外偏振焦平面探测器的研制,介绍了偏振结构的设计、制备到偏振探测器的集成,以及偏振探测器性能的测试等方面的研究进展状况,设计加工出了亚波长金属光栅阵列,采用倒装互连的方式实现了偏振探测器的集成,并在MW 256×256碲镉汞焦平面器件上实现了红外偏振性能的测试和评估。
碲镉汞 红外焦平面探测器 偏振 mercury cadmium telluride infrared focal plane detector polarization 
红外与激光工程
2021, 50(1): 20211008
作者单位
摘要
武汉高德红外股份有限公司,湖北 武汉 430205
报道一种制备高性能氧化钒热敏薄膜的方法和其应用。采用反应磁控溅射薄膜沉积技术,通过改变氧化钒热敏薄膜沉积时溅射功率,从而调整钒原子在溅射出来之后接触到基片表面时的沉积速率,同时通过对设备进行改造升级,即在钒溅射腔腔外增加一个控制电源来精确控制溅射电压及氧气分压等参数来精确控制反应过程中电流密度,优化了氧化钒薄膜的制备工艺,制备出方块电阻为500 kΩ/□,电阻温度系数(TCR)为?2.7% K?1的氧化钒薄膜。实验测试结果表明,利用高性能氧化钒热敏薄膜制作的非制冷红外焦平面探测器,其噪声等效温差(NETD)降低30%,噪声降低28%,显著提升了非制冷焦平面探测器的综合性能。
氧化钒薄膜 反应磁控溅射 TCR 非制冷红外焦平面探测器 vanadium oxide film reactive magnetron sputtering TCR uncooled infrared focal plane detector 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200349
作者单位
摘要
1 烟台艾睿光电科技有限公司,山东 烟台 264006
2 华北光电技术研究所,北京 100015
介绍了非制冷红外焦平面探测器的基本工作原理,并概括了其关键技术参数。梳理了非制冷红外焦平面探测器技术与产品的发展简史,综述了国内外相关研究及产品开发的最新进展。最后还讨论了非制冷红外焦平面探测器技术的发展趋势。
非制冷红外焦平面探测器 微测辐射热计 氧化钒薄膜 uncooled infrared focal plane detector microbolometer vanadium oxide thin film 
红外
2020, 41(10): 01
作者单位
摘要
华北光电技术研究所,北京100015
报道了碲镉汞甚长波红外焦平面探测器的最新研究进展。采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长了p-on-n异质结材料。基于湿法腐蚀、表侧壁钝化以及In柱互连工艺,制备了第一支台面型碲镉汞甚长波红外焦平面器件。在60 K的工作温度下,该器件的截止波长为14.28 m,有效像元率为94.5%,平均峰值探测率为8.98×1010 cm·Hz 1/2·W -1。
双层异质结 甚长波红外 碲镉汞 红外焦平面探测器 double-layer heterojunction very-long-wavelength infrared HgCdTe infrared focal plane detector 
红外
2020, 41(4): 1
作者单位
摘要
电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法, 采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真, 具体工作包括: 单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模, 结合实际MEMS结构的材料参数, 进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率, 分别为: 热导4.31×10-8W/K、热容2.69×10-10J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法, 可显著提高器件设计效率和设计精度, 缩短研发周期, 可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析 microbolometer small pixel uncooled infrared focal plane detector finite element simulation thermal-couple 
半导体光电
2020, 41(1): 15
作者单位
摘要
中国洛阳电子装备试验中心, 河南 洛阳 471003
在激光干扰的仿真试验中, 要进行干扰效果评估, 最直观的方法就是仿真出干扰图像。干扰图像的仿真是进行激光干扰内场仿真试验亟待解决的问题。文章研究了采用CTIA输入级电路以及CDS相关双采样预处理电路的HgCdTe探测器的干扰图像仿真。首先研究了激光干扰线阵探测器的干扰图像仿真, 然后通过进一步分析串扰现象产生的原理, 研究了激光功率密度分布不均匀时激光干扰面阵探测器的干扰图像仿真。分析了带背景的干扰图像仿真。
干扰图像仿真 激光 红外焦平面器件 jamming image simulation laser infrared focal plane detector 
半导体光电
2015, 36(2): 213

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