1 南京航空航天大学 航天学院，江苏 南京 211106
2 南京航空航天大学 空间光电探测与感知工信部重点实验室，江苏 南京 211106
3 浙江舜宇光学有限公司，浙江 余姚 315400
工业镜头元件口径小、数量多、精度要求高，将自由曲面用在镜头凸面上会导致面形复杂、偏离量大，对表面面形检测提出了很高的挑战。提出了基于计算全息板（Computer-Generated-Hologram, CGH）的干涉检测方法，并利用Zemax对光路进行优化设计，建立了镜头装夹误差对检测结果的影响分析模型，提出了镜头高精度干涉检测方案，并结合实验验证了分析模型和检测方案的可靠性。实验结果表明：利用CGH可实现凸自由曲面工业镜头的全口径干涉检测，检测结果为0.57 μm PV（满足镜头检测需求），并结合轮廓仪对比验证了干涉测量的可靠性。
干涉检测 凸自由曲面 工业镜头 计算全息板 interferometric testing freeform surface industrial lens CGH 红外与激光工程
2022, 51(9): 20220456
浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027
介绍了非球面各加工阶段的面形检测技术及其最新进展，重点介绍了非球面精密抛光期的面形检测技术，并对其中的非零位子孔径拼接干涉检测法和部分补偿法进行了详细阐述，提出了适用于大口径、深度非球面面形检测的组合干涉法的概念。概述了近年来受到关注的自由曲面非球面的发展和检测技术现状，展望了非球面检测技术的发展趋势。
非球面检测 非球面加工 组合干涉检测 自由曲面 aspheric testing aspheric fabrication combined interferometric testing free-form surfaces
南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
强激光系统中，光学元件表面中频段误差会导致光学元件的丝状破坏，引起光束的高频调制和非线性自聚焦，从而影响系统工作。现阶段还没有仪器专门针对中频段误差进行测试，做出完整的分析。为解决这一问题，设计出一套高分辨率干涉仪系统，对光学元件表面中频部分实行全频段检测。采用结构简单的Fizeau干涉光路，利用光纤导出式稳频激光作为光源，采用半波片、偏振分光棱镜和1/4波片组合成偏振干涉光路，成像系统采用双远心光路设计并使用超光滑面作为标准参考平面镜，并搭建了一套实验系统。实验结果表明该系统在空间频率8.3 mm-1处的系统传递函数(STF)大于70%，达到中频段检测要求。
测量 光学精密测量 干涉测试 中频段测试 高分辨率 光学学报
2013, 33(s2): s212007
1 School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China
2 School of Electrical and Electronic Engineering, North China Electric Power University, Beijing 102206, China
Frontiers of Optoelectronics
2010, 3(4): 382
