1 上海交通大学 微纳电子学系,微米纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240
2 江西省精密驱动与控制重点实验室,南昌工程学院 机械与电气工程学院, 南昌 330099
3 上海交通大学 机动学院,制冷与低温工程研究所, 上海 200240
冷冻靶是实现惯性约束聚变高能量增益的重要靶型.冷却臂是冷冻靶的重要部件之一,通过它将冷源与铝套筒相连接,用于获得靶丸内均匀氘氚冰层时所需的精确温度,同时冷却臂也用于均匀夹持铝套筒.首先测试分析了硅材料在深低温下的热传导系数,表明硅材料在该温区具有优异的热传导能力.研究了硅冷却臂结构参数对冷却臂温度场分布的影响.分析不同晶向硅冷却臂周向均匀夹持铝套筒的特性,提出基于(111)晶向硅片研制冷却臂.研究了冷却臂力臂夹持力和共振频率,并对硅冷却臂的热-结构耦合进行分析.最后设计具有16个夹持力臂的二级分叉结构的冷却臂.基于微电子机械系统技术研制了硅冷却臂样机,并测试了冷却臂的侧壁垂直度和力学特性.将研制的硅冷却臂与铝套筒进行装配,表明冷却臂中力臂的力学特性能够实现对套筒的夹持.
惯性约束聚变 冷冻靶 冷却臂 温度场 力学分析 inertial confinement fusion cryogenic target cooling arm temperature field mechanical analyses 强激光与粒子束
2015, 27(6): 062009
