为满足振动频率在一定范围内变动, 且在空间有限的环境下无线传感器系统的自供能需求, 设计了一种具有3个自由度的回折梁振动压电能量采集器。基于系统结构和工作原理, 进行了理论分析及建立了回折梁结构有限元模型, 并对该模型进行了有限元分析和模态仿真。制作回折梁压电能量采集器的原理样机, 搭建试验平台, 在振动台上进行试验。试验结果表明, 理论分析、有限元模拟结果与实验结果吻合, 在3.5~8.5 Hz低频振动下能产生大于5 V的电压, 最高输出电压约为17.5 V, 是传统单梁结构的1.4倍, 且具有3个输出电压峰, 工作带宽为传统单梁结构的4.5倍, 实现了宽频效果。所提出的回折梁结构压电能量采集器在低频、振动频率变化的环境中有效且自适应。

冷冻靶是实现惯性约束聚变高能量增益的重要靶型.冷却臂是冷冻靶的重要部件之一,通过它将冷源与铝套筒相连接,用于获得靶丸内均匀氘氚冰层时所需的精确温度,同时冷却臂也用于均匀夹持铝套筒.首先测试分析了硅材料在深低温下的热传导系数,表明硅材料在该温区具有优异的热传导能力.研究了硅冷却臂结构参数对冷却臂温度场分布的影响.分析不同晶向硅冷却臂周向均匀夹持铝套筒的特性,提出基于(111)晶向硅片研制冷却臂.研究了冷却臂力臂夹持力和共振频率,并对硅冷却臂的热-结构耦合进行分析.最后设计具有16个夹持力臂的二级分叉结构的冷却臂.基于微电子机械系统技术研制了硅冷却臂样机,并测试了冷却臂的侧壁垂直度和力学特性.将研制的硅冷却臂与铝套筒进行装配,表明冷却臂中力臂的力学特性能够实现对套筒的夹持.

介绍了一种在大气压环境下产生超细Ar/O2等离子体射流的装置。为了降低等离子体射流的尺寸, 一种特制的玻璃微针被用于制作等离子体射流源。当施加在电极上的电压为4.0 kV时, 该装置能产生基本均匀和稳定等离子体射流, 且等离子体射流的线宽仅有几μm。此外, 探究了该超细等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜的可能性。实验结果表明, 该超细Ar/O2等离子体射流能有效地选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜, 去除速率可达2.4 μm/min。因此, 这种超细Ar/O2大气压等离子体射流有可能用于材料的超细加工。

：为了实现微机电系统微波信号滤波,开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器,对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究.根据左手材料理论,介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构.以蛇形槽结构的一个单元为例,对比传统插指电容左手单元结构,提取了蛇形槽的等效电路,并分析了蛇形槽结构单元的优点,即在相同的面积内,可以获得更大的等效电路参数.最后,结合溅射、光刻、电铸、刻蚀等MEMS技术，设计了器件的加工工艺。使用EMES工艺，加工了主体尺寸5mm×7mm 的器件.相移常数的仿真和实验结果表明，在高频带部分（2.1～5.2GHz）的相移常数为负（左手区）,相速度与群速度方向相反,左手区的相对带宽为82.7%.结果显示，与其他设计相比，本文设计的器件尺寸小，左手区的相对带宽大，可以提供更大的工作频带范围

提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟.利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率分别为34.4 kHz和46.3 kHz,相应的模态分别为B21和B22,二者结果吻合较好.对微马达的输出性能进行了实验研究,结果表明:三叶片和六叶片转子在八区最优模态激振下转子的转速约是四区的2倍.说明了增加定子的分区数不仅改变了定子的最优驱动?德识夷芄幻飨蕴岣咦拥淖?而且当A-B间相位差从90°调谐到270°时,行波的传播方向发生了改变,从而实现了转子的换向.实验还表明,转子的正反转的转速基本一致.