1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心, 重庆 400714
提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02 mW/cm
2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1 mW/cm
2,且检测的照度均匀性符合要求。
测量 照度均匀度 多点测量 光刻技术 光刻机 实时检测 激光与光电子学进展
2018, 55(6): 061203
