1 中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 重庆 400714
2 宁波摩米创新工场电子科技有限公司, 浙江 宁波 315199
为解决传统柱透镜自由立体投影显示中像差和视几何引起的串扰和视点数受限问题, 基于回归反射, 提出了一种棱镜反射光栅自由立体投影显示方法。通过分析其3D成像的原理, 对棱镜反射光栅自由立体投影显示进行仿真, 发现该方法在水平视宽相同的条件下, 视场照度是柱透镜光栅投影的10倍, 而其串扰比是柱透镜光栅投影的1/5, 且不存在次视区。制作了棱镜反射光栅屏, 并搭建系统进行实验, 验证了棱镜反射光栅自由立体投影显示方案的可行性。
自由立体投影 棱镜反射光栅 低串扰3D 多视点 auto-stereoscopic projection prismatic reflective grating low crosstalk 3D multi-view 红外与激光工程
2019, 48(6): 0626004
1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心, 重庆 400714
提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02 mW/cm
2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1 mW/cm
2,且检测的照度均匀性符合要求。
测量 照度均匀度 多点测量 光刻技术 光刻机 实时检测 激光与光电子学进展
2018, 55(6): 061203
重庆大学 光电工程学院 光电技术教育部重点实验室，重庆 400044
根据位敏探测器的理想定位模型及其信号处理方式，建立了位敏探测器位移测量误差的数学模型,以获得高准确度的位移测量.所建模型显示系统的测量误差随光斑强度增大而减小，随电噪音增大而增大.为了验证理论模型的正确性，以单颗红外发光二级管作为靶标光源，用枕型位敏探测器及其测试电路板在暗室中搭建了实验系统，分别在9组不同光斑强度下对21个位置点进行位移测量实验，相邻两位置点的间距为0.3 mm.使用MATLAB的CFTOOL工具对每组测得位移值进行拟合，以均方根误差作为准确度的评价指标，结果表明: 位移实验的准确度值与模型计算的准确度值基本符合，准确度随光斑强度变化的趋势完全一致.
光源 位移测量 光电探测器 测量误差 光学系统 Light source Displacement measurement Photoelectric detector Measurement deviation Optical system
