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设计与研究
基于磁控溅射制备铜基表面增强拉曼散射基底
何煜 1李强 1张玲 2,*潘登 3孙群 2
作者单位
摘要
1 上海理工大学 机械工程学院，上海 200093
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 200093
3 上海大学 材料基因组工程研究院，上海 200041
为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度，设计了铜基表面增强拉曼散射（surface enhanced Raman scattering, SERS）薄膜基底。以Cu40Ti60合金为靶材，通过控制磁控溅射参数获得了一系列铜钛合金薄膜，采用脱合金法进一步获得了不同结构的铜基薄膜，系统地研究了不同溅射参数对铜基薄膜的SERS特性的影响，确定了制备SERS基底的最佳溅射参数。脱合金后所得铜膜具有多孔结构，能形成高强度局域电磁场，即SERS“热点”（hotspots），从而表现出优异的SERS增强性能。该基底制备成本低，重复性好，能用于灵敏检测且SERS增强因子可达1.8×107，具有较好的应用前景。
纳米多孔铜膜 磁控溅射 脱合金 表面增强拉曼散射（SERS） nanoporous copper film magnetron sputtering dealloying surface enhanced Raman scattering(SERS) 
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光学仪器
2019, 41(6): 40
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