在模型实验验证的基础上，采用数值模拟的方法，对比分析了分流喷管出口构型对直升机红外抑制器气动性能、温度场和红外辐射强度的影响。研究结果表明：相比基准分流喷管模型(Origin)，分流喷管出口带一定外扩张角的波瓣出口结构(Lobe_1)的引射系数略微降低、总压恢复系数降低，中间混合管出口排气温度峰值却降低了65.1 K，同时降低了混合管上下方区域的壁面温度，但造成混合管中后段外侧壁面局部区域温度升高；外扩张角为0的波瓣出口结构(Lobe_2)增加引射系数3.8%，总压恢复系数与Lobe_1结构基本相当，中间混合管出口排气温度峰值也降低了62.8 K，尤其是其降低混合管壁面温度的效果最佳；分流喷管出口突片结构(Tab)增加引射系数10.6%，但总压恢复系数降低0.7%，同时，内侧混合管出口排气平均温度降低19.3 K，混合管壁面降温效果相对较差。总体来看，波瓣和突片结构都起到增强引射、强化混合的作用，尤其是波瓣出口结构(Lobe_2)对降低抑制器总体红外辐射效果最好，在3~5 μm波段的红外辐射强度最大可降低21%；在8~14 μm波段，其红外辐射强度最大可降低15%。

经地面模型实验验证，数值仿真展示了一体化红外抑制器排气出流、模拟旋翼下洗气流和模拟前飞来流相互作用下的流动和换热特征，通过改变排气出流角度和模拟前飞来流速度，计算分析一体化红外抑制器引射、混合特性以及红外辐射强度空间分布的变化规律。仿真结果表明：模拟的前飞来流与排气出流相互作用后会造成局部排气不畅，前飞来流甚至倒灌入红外抑制器内，从而引起抑制器壁面局部高温，增加了抑制器整体红外辐射强度；改变排气角度可将之改善，且存在气动和红外辐射特性兼顾的最佳角度。前飞来流速度从15 m/s提高到55 m/s，抑制器内部高温壁面温度降低，抑制器红外辐射强度峰值在3~5 μm波段降低约50%，在8~14 μm波段降低约20%。红外抑制器的下洗气流进口加装弯曲导流片可以对内部混合管高温壁面进行遮挡，有效降低顶部视角的红外辐射强度。最佳排气角度下，利用排气下游隔板的遮挡，正对抑制器排气出口方向（底部视角）上的3~5 μm和8~14 μm波段红外辐射峰值分别降低约50%和33%。

极紫外(Extreme ultra-violet, EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术, 用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中, 基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250 ℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备, 以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术, 成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台, 基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz, 直径~100 μm的高温锡液滴靶的稳定输出。

对大尺寸（520 mm×800 mm及以上）掩膜版生产过程中的连续喷雾影喷液方式和狭缝液帘影喷液方式进行对比分析，通过实验及生产过程的监控，得出了两种显影喷液方式的优缺点。综合对比得出，在掩膜版的生产过程中，选择狭缝液帘显影喷液方式最佳。