1 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
2 兰州大学磁学和磁性材料教育部重点实验室,兰州 73000
介绍了一种利用光外差技术测量光电探测器超宽带频率响应的测试方法。将一个可调谐外腔激光器和一个固定波长的分布反馈激光器(DFB-LD′s)产生的激光输入到光电探测器进行混频。通过对可调激光器腔长的控制,可以在光电探测器产生从DC到上百GHz的拍频信号,在无需额外校准光源的情况下就可以进行光电探测器超宽带频率响应特性的测试,这是该方法最突出的优点。实验证明该方法比较准确、简便、易于操作。在实验中,对两个不同的InGaAs p-i-n探测器进行测量,得到器件的3 dB带宽分别为14.4 GHz和40 GHz。该测量方法对同类实验的研究和应用都具有实用意义。
探测器 光外差技术 超宽带频率响应 拍频
1 Instrumentation Division, Brookhaven National Laboratory, Upton, NY.11973, U.S.A
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
本文报道一套光学结构用于同步辐射反射镜表面轮廓高精度大面积的测量。采用了光学外差测量与接收技术,以伺服聚焦双折射透镜组分离“o”光与“e”光的聚焦区域,并再共轴组合比较其相位差,从而获得表面起伏的误差值。线性运动的测量工作台使镜面可测量范围从数微米到一米,而最小起伏量及曲率可达很高的测量精度。
轮廓仪 光外差技术 同步辐射反射镜