作者单位
摘要
重庆京东方光电科技有限公司, 重庆400714
TFT-LCD面板生产过程中会出现各种Mura, 尤其是电视大尺寸产品, 对显示均一性要求很高。Mura现象种类多, 原因差异性大, 本文分析的Mura属于电视面板的特殊不良。为解决此黑Mura, 首先进行了实物分析研究, 通过液晶盒特性、表面微观以及电学分析确认实物未见明显异常, 为极微观异常。采用目前实际可操作方法很难进行深入分析, 需依靠工艺验证来明确, 因此通过工艺验证确认到不良为配向膜清洗机相关, 而清洗机独立单元繁多。依据不良可能的原因以及实际生产线的运营状况, 设计了5项相关可行性实验: 清洗速度降低, 清洗后增加静置时间, 紫外光清洗强度提升, 毛刷远离基板以及清洗机高压二流体喷淋压力调整。通过以上工艺验证结果, 推理出不良形成原因为电荷残留, 并提出两个合理可行的改善方向, 首先是减少基板在高压二流体喷淋下的停留, 其次为增加监控或关闭高压二流体喷淋, 使不良从0.94%降低至0.00%, 提升了产品品质。
黑Mura 清洗机 工艺验证 电荷残留 TFT-LCD TFT-LCD black Mura cleaner process verification electrostatic remain 
液晶与显示
2020, 35(9): 927

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