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光学器件与制造
多组分复合薄膜的光学、电学、机械性能及其应用下载：605次
师云云 徐均琪 *苏俊宏 
作者单位
摘要
西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710021
复合薄膜因其可具有比单组份薄膜更加优异的性能而得到广泛的应用。通过以膜层的防护、催化、电学、光学以及力学性能等复合思想为切入点，阐述了通过膜层的复合掺杂旨在增强合金的抗腐蚀性，提高润滑摩擦性能，改善膜层的导电性能以及进行光学薄膜折射率和光谱吸收的调控，增强膜层的硬度及拉伸强度等机械性能的方法。对国内外的相关前沿成果进行简要介绍，并对复合薄膜的未来发展进行展望，为相关领域的研究提供参考。
复合薄膜 防护性能 电学性能 催化性能 光学性能 机械性能 composite thin films protective properties electrical properties catalytic properties optical properties mechanical properties 
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应用光学
2020, 41(2): 405
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