1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 光驰科技(上海)有限公司, 上海 200444
随着图像识别技术的不断发展,人脸识别系统对虹膜识别滤光片的要求不断提高,光在大角度入射时,光谱偏移量往往较大而导致识别失败,因此急需一种低角度效应良好的带通滤光片。利用光谱拆分原理设计了一种大角度、小偏移量的带通滤光片。通过调节氢气流量使得Si-H在增大折射率的同时仍能保持较低的吸收率,从而改善虹膜识别滤光片的角度效应。基于对薄膜材料沉积工艺的研究,采用一种特殊的膜系结构,解决了因薄膜内部结构疏松而发生的脱膜问题。测试结果表明,该膜系结构能满足虹膜识别滤光片的各项技术要求。
薄膜 虹膜识别 带通滤光片 拆分技术 角度效应 折射率 光学学报
2019, 39(11): 1131002
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 广东先导先进材料股份有限公司, 广东 清远 511517
基于甲烷的红外吸收光谱,通过光谱拆分法实现了一种双通带滤波器的设计。通过调节离子源束流,改善了ZnS膜层的折射率,消除了背景噪声。通过引入可控薄层,降低了非周期窄带通膜系的制备难度。经实验测试与分析,所研制的双通带滤波器在3.31 μm和7.67 μm的透射率分别为89.25%、81.97%,达到了提高探测系统灵敏度的目的。
薄膜 滤波器 红外热成像 拆分技术 聚集密度 膜层敏感度 光学学报
2018, 38(12): 1231001
根据气体探测系统灵敏度的要求, 基于甲烷气体红外吸收光谱特性, 结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用“拆分技术”对气体滤波器进行膜系结构设计, 降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜, 根据测试结果逆向分析, 优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669 μm波长处峰值透过率达到85.14%, 通带半宽度为59 nm, 覆盖了甲烷气体吸收区域, 截止区达到了OD3, 很好地抑制了背景噪声.
光学薄膜 窄带滤波器 拆分技术 气体泄漏 探测与识别 灵敏度 Optical thin film Narrow-band filter Splitting technique Gas leaks Detection and recognition Sensitivity 光子学报
2017, 46(10): 1023003
长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
依据光学薄膜理论及光学材料的特性，结合膜系设计软件，采用拆分技术原理，实现了双面膜系的设计，解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演，通过对膜层敏感度分布的研究，分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式，使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明，3.31 μm单点透射率为93.7%，通带半峰全宽为49 nm，1~3.2 μm和3.4~5 μm波段平均透射率为0.17%，满足系统使用要求。
薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜
