1 北京理工大学 光电学院, 北京 100081
2 中国电子科技集团公司第44研究所 固体图像传感器事业部, 重庆 400060
为提高铂硅肖特基势垒红外探测器的量子效率, 文章将平坦的铂硅-p型硅金半接触界面设计成光栅结构, 利用光栅耦合激发表面等离子波效应提高铂硅红外探测器光耦合效率.采用严格耦合波分析方法优化了光栅结构参数以及模拟了探测器在等离子共振波长处的电场分布.最后探讨了光耦合效率与铂硅红外探测器量子效率的定量关系, 发现在3~5 μm波段光栅结构的量子效率较平坦结构能提高2倍多, 在波长3 μm和3.4 μm时分别提高294和2.5倍.
铂硅红外探测器 表面等离子波 光栅耦合 量子效率 PtSi infrared detector surface plasma waves grating coupling quantum efficiency
提出了表面等离子体波调Q方法，阐述了它调Q的原理，对表面等离子体波Q开关的特性进行了理论和原理性实验研究。
表面等离子体波 Q开关 Otto结构
