中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051
从空间分辨率的定义出发,指出物镜的数值孔径和光的波长是决定光学仪器空间分辨率的主要因素。给出了空间分辨率影响半导体器件结温检测结果准确度的原理。对GaN HEMT进行了不同空间分辨率下的显微红外温度检测,较低空间分辨率下的测温结果低于高空间分辨率下的测温结果,证明空间分辨率的不足会导致温度测量结果偏低。
空间分辨率 数值孔径 温度检测 半导体器件 spatial resolution numerical aperture thermal measurement semiconductor device
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为了有效实现对微波功率器件的热特性分析,在瞬态红外设备基础上开发了一套用于获取微波功率器件降温曲线的测量系统。分析了瞬态红外设备的原理,并根据降温曲线测量的需要对设备进行改造,开发了数据采集和处理系统,扩展了原有设备的功能,重新设计了测温流程、数据处理算法和相应的软件系统,实现了对GaN HEMT器件不同工作条件下降温曲线的测量。测量的降温曲线满足现有国际标准JESD51系列的要求,在器件热特性分析方面具有较好的应用前景。
红外测温技术 降温曲线 电学法 infrared thermal measurement technique cooling curve electrical method
报道了一种弱相于激光干涉测温方法.以1.3 μm InGaAsP半导体激光为微探针.实时测量了功率晶体管内部结点的瞬态热特性,该方法具有响应速度快、完全非侵人性、空间分辨率高、测温范围广等优点,适合于测试Si、GaAs、InP等材料的功率电子和光电子器件的瞬态热特性。
激光干涉测温 热测试 功率器件热分析
