1 中国科学院光电技术研究所应用光学实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪，其参考波由一定尺寸针孔衍射产生，因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制，使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点，主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构，降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置，去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统，在针孔直径为3 μm时，系统误差为0.009λ。
测量 光学检测 点衍射干涉仪 双孔干涉 误差标定
