在Zn1-xMgxO中, x=0.4～0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构, 影响了其晶格质量。本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格, 并改变其生长过程中的Ⅱ-Ⅵ比, 利用原子力显微镜、X射线衍射、透射谱和X射线光电子能谱对样品进行了表征分析。发现在较低氧分压下制备的样品结构以岩盐矿为主导, 而在较高氧分压下两相共存并以纤锌矿为主。这种相分离现象与裂解氧原子的密度有关。
超晶格 Ⅱ-Ⅵ比 相分离 MgZnO MgZnO ZnO ZnO superlattice Ⅱ-Ⅵ ratio phase segregation
