针对溶胶-凝胶法制备的1/4波长二氧化硅增透膜耐环境性差的缺点，对其进行了水氨或/和六甲基二硅氮烷的表面处理，并对单一气氛处理和两种气氛联合处理后的膜层性质进行了对比研究.展现了膜层经各项表面处理后物理性质和微观结构的变化，以及两种气氛联合处理时因处理顺序不同而引起的最终结果的差异.研究表明: 水氨蒸汽处理促进了膜层粒子间表面羟基的交联，膜层较处理前厚度降低，但耐摩擦性增强，光学透过率基本保持不变；硅氮烷蒸汽处理向膜层引入了甲基，膜层极性较低，粒子间作用力因此降低，耐摩擦性下降，但疏水性得到良好的改善；先水氨后硅氮烷蒸汽处理时，水氨蒸汽的前处理在提高膜层耐摩擦的同时降低了表面羟基的数量，使后续硅氮烷处理时强度降低，故两步处理后膜层保持了较好的耐摩擦性和一定的疏水性；而先硅氮烷后水氨蒸汽处理时，硅氮烷蒸汽的前处理明显改善了膜层的疏水性，却因膜层表面羟基减少、间距增大而降低了水氨蒸汽的处理强度，耐摩擦性虽有较大提高，但稍弱于单一水氨蒸汽处理时的耐摩擦性.

采用溶胶-凝胶技术制备了二氧化硅增透膜，通过向溶胶中添加高分子聚乙烯醇缩丁醛(PVB)，调控胶体的粒径，进而控制膜层微观结构，研究膜层微观结构与激光损伤阈值的关系。纳米粒度仪和扫描探针显微镜测试表明：PVB加入溶胶后，控制了二氧化硅胶粒的生长，使二氧化硅胶粒生长更均匀，因而膜层的微观结构更均匀。当PVB质量分数为1%时，胶体粒径为15 nm，分散系数小于0.1。用该胶体镀膜，膜层均匀，表面粗糙度小于3.25 nm。并且PVB加入后增加了膜层胶粒间的黏附性，使得膜层强度增大。PVB加入使膜层的激光损伤阈值有所增加。当PVB的添加量为1%时，膜层的激光损失阈值从30.0 J/cm2 增加到40.1 J/cm2。膜层激光损伤阈值的增加与膜层微观均匀性和物理强度的增加有关。