1 聊城大学物理科学与信息工程学院, 山东 聊城 252059
2 山东省光通信科学与技术重点实验室, 山东 聊城 252059
透明导电薄膜被广泛应用于平板显示，太阳能电池等发光行业。透明导电薄膜厚度的减少将导电薄膜的用途大为拓展，目前该薄膜的制备仍然是研究热点。采用激光分子束外延（LMBE）镀膜系统在1.0×10-5 Pa的高真空下制备了不同厚度、不同氧压下的ZnO单层膜以及ZnO/Au/ZnO三明治结构薄膜，并进行了光谱及电阻率的测试，运用控制变量法得到ZnO和Au的最优膜层厚度。制备出通透性好（可见光透射率80%以上）、电阻率低(6.89×10-4 Ω·cm)厚度均匀的透明导电薄膜。
薄膜 低电阻率 机理分析
