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研究了一种长期THO信赖性过程中产生的四角发黑Mura。由于该Mura在TFT膜面可见, 本文重点模拟分析了TFT侧在信赖性过程中电容的变化, 确定了不良是存储电容(Cst)变化引发的电学不良, 其机理为水汽不断进入第二绝缘层(PVX2), Cst持续增大, 进而造成了TFT-LCD像素充电电压和灰阶的降低。通过降低沉积压强和提高Si/N比, PVX2膜层致密性和阻水性加强, 模拟信赖性测试中电容的变化由19.6%降至0.5%, 成功解决了该不良, 避免了信赖性风险, 提升了产品品质。
信赖性 氮化硅 阻水 电容 灰阶 Mura Mura reliability SiNx water resistance capacitance grey
概述了LED LAMP的应用分类,并针对高端应用的LED LAMP的几大重要物料的检验及选用阐述了其检验项目.检验手法以及相关检验标准.同时还对其成品信赖性的项目及标准作了明细说明,明确了高端应用领域发光二极管(LED LAMP)主要物料选用的必要性以及检验方式与标准.
发光效率 制程评估 热阻 导热系数 结温 信赖性