红外与激光工程
2020, 49(3): 0303005
华北理工大学 电气工程学院，河北 唐山 063210
传统傅立叶变换轮廓术多采用散光斜式投影，需要满足4个约束条件才能得到较为准确的相位与高度映射关系，并且散光投影带来的相位非线性二次项误差也会降低形貌恢复精度。为了能在欠约束条件下减少相位非线性误差的影响，建立了基于平行光干涉投影下的普适模型。平行光干涉投影下的参考平面相位沿着x轴呈线性变化，相位分布较散光或倾斜式投影更具准确性。对比分析了散光及平行光投影下被测物体的恢复情况，实验结果表明，新模型在欠约束条件下，具有较高的灵活性和可操作性，恢复精度良好，相对误差为1.1%。
三维形貌测量 相位高度映射 傅立叶变换轮廓术 系统标定 平行光干涉投影 three-dimensional shape measurement phase height mapping Fourier transform profilometry system calibration parallel optical interference projection
