对于硅上液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)器件而言, 由于其像素间距较小, 当某一像素施加电压后, 会影响其相邻不加电压的像素的光学特性。为了改善这一情况, 本文通过建立一种常白型LCoS的三维光学模型, 研究了3种参数对相邻不加电像素边缘的影响。结果表明: (1)相邻像素边缘暗态的位置和面积会随着液晶分子取向的改变而改变, 当液晶分子取向方向为45°时, 相邻像素边缘受影响的程度最小; (2)液晶盒的厚度越大, 相邻像素边缘受影响的程度越大; (3)像素间距对相邻像素边缘的影响是变化的。本文条件下, 当像素间距为0.7 μm时, 加电的中央像素对周围像素的反射率的影响最小。本研究的结论对高分辨率LCoS的设计和制备具有一定的指导意义。

TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura, 影响液晶显示器的品质, 经过图形匹配, 缺陷与曝光机机台形貌匹配。通过对异常区域特性分析, 发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常。对原因进行模型分析: 玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲, 曝光距离变短, 致使BM PR受光区域变小, BM CD会偏小, 进而导致区域性透过光不均一产生Mura; 玻璃弯曲后BM 像素间距相对于设计位置也会发生变化, 从而导致漏光产生Mura。经过实验验证, BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起, 可以通过降低吸附压力和研磨机台, 来改善CD差异和像素间距偏移, 同时像素间距偏移漏光, 也可以通过增加CD来改善。最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施, Stage Mura不良率由10.05%下降至0.11%。