南京工业大学 电子与信息工程学院, 南京 211816
针对经典两步相移算法对光强不均匀分布和物体不均匀反射率处理能力不强的问题, 分析相移量为90°的情况, 采用光强模型, 直接对光强进行数据操作, 利用三角关系, 给出了求解折叠相位相位半角的计算方法,通过高度-相位差公式得到物体的三维形貌数据, 避免了因归一化操作过程中取最值方法引起的误差.实验对比分析了经典四步相移法和两步移相法, 表明在环境光强可以忽略不计或足够小的情况下, 该方法误差范围为±0.2 mm, 结果优于经典两步相移法, 接近于测量误差最小的四步相移法.
光学测量 相位半角 相移法 折叠相位 反射率 光强分布分析 三维实时测量 Optical measurement Half angle of phase Phase shifting Wrapped phase Reflectivity Intensity distribution analysis Three-dimensional real-time measurement 光子学报
2014, 43(11): 1110002
为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测,在研究广义洛仑兹-米氏散射理论的基础上,针对硅基材料和MEMS器件的物理特点,对球形缺陷与红外激光相互作用在非垂直方向散射光强分布特点进行了研究和计算机仿真,提出利用红外激光背散射分布分析对硅基材料和MEMS器件内部缺陷进行检测的方法,并通过实验验证了该方法的有效性.
硅基材料 微体缺陷 广义洛仑兹-米氏散射理论 背散射 光强分布分析 Silicic material MEMS MEMS Micro bulk defect Generalized Lorenz-Mie Scattering theory Back scattering Light intensity distribution analysis
