1 上海应用技术学院 理学院, 上海 201418
2 同济大学 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
3 同济大学 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40 Pa和0.67 Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品，利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度，用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度，用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反射镜的反射率，并对测量结果进行了分析讨论.测试结果表明：在0.40 Pa工作气压下制备的非晶碳膜反射镜的性能优于在0.67 Pa工作气压下制备的反射镜的性能，在掠入射角小于4.5°时，非晶碳膜全反射镜在5 nm以上波段有比较平坦的高反射率，在波长小于5 nm波段，反射率急剧下降.
薄膜 非晶碳 全反射镜 软X射线 磁控溅射 反射率 Film Amorphous carbon Total reflection mirror Soft X-ray Magnetron sputtering Reflection
北京交通大学 理学院 光信息科学与技术研究所 发光与光信息技术教育部重点实验室, 北京 100044
为解决反射式全光纤电流传感器中引入全反射镜而产生的反射损耗及与光纤匹配困难等问题, 设计了一种利用非线性光环路镜作为反射元件的全光纤电流传感器, 推导出了光偏振态的斯托克斯矢量与电流的关系式, 提出了高速偏振态检测方法。在加载0～200A的50Hz工频交流电的条件下进行了实验, 测试结果与理论预测吻合, 显示出了较高的测量精确性, 证明了该传感结构与实验方案的可行性。
全光纤电流传感器 全反射镜 非线性光环路镜 光偏振态 斯托克斯矢量 高速偏振态检测 all-fiber current sensor total reflection mirror nonlinear optical loop mirror light polarization Stokes vector high-speed polarization detection
1 Institute of Materials Research,GKSS-Research Centre Geesthacht GmbH,Max-Planck-Strasse 1,21502 Geesthacht,Germany
2 Microanalysis of Materials,Faculty of Engineering,University Kiel,Kaiserstrasse 2,24143 Kiel,Germany
150～500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化.本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜.第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50～200eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FLASH.第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0.4～1°的入射角用于硬X射线区(20～50keV),如层析光束线的同步辐射存储环中.两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光学品质.这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积.单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀.文中所叙相关研究都是借助X射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM)、光学轮廓仪(OP),以及原子力显微镜(AFM)完成的.
X射线光学 多层膜反射镜 全反射镜 X射线反射测量 磁控溅射 同步辐射 自由电子激光器 光学 精密工程
2007, 15(12): 1869
华中科技大学激光技术与工程研究院,武汉,430074
激光功率是激光器中最基本的参数,激光功率的稳定、准确将对激光加工等领域产生直接而巨大的影响.在大功率CO2激光器功率测控系统中,采用尾镜即全反球面镜漏光进行激光功率采样,并通过西门子S7-200 PLC实现对整个系统的激光功率测控,可以有效提高对激光器的控制精度和稳定性,且不影响激光输出.
激光功率 全反射镜漏光 薄膜探测器 测控系统 PLC
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
根据高功率CO2激光器谐振腔全反射镜的工作情况建立了热传导方程,并给出了符合实际情况的边界条件.应用薄片分层分析法得到了全反射镜温度分布的解析结果,并由温度分布求得了热应力引起的全反射镜的挠度以及由此引起的反射镜表面变形后所形成的曲率半径.
CO2激光器 全反射镜 热形变
