1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
透镜中心厚度测量设备是基于色差共焦原理，能快速自动测量透镜的中心厚度，且不接触透镜表面的一种新型设备。通过对该测量系统出射光光谱的研究，得到影响光谱带宽及系统测量精度的因素。研究结果表明，对于峰值波长λ0 的光，其在系统中的像方数值孔径NA ，以及小孔半径r 均会对出射光的光谱有影响。NA 越大，出射光带宽越小，系统测量精度越高；r 越小，出射光带宽越小，系统测量精度越高。根据这一研究结果进行测量系统的设计与仿真，确定了能满足系统测量精度要求的NA 和小孔半径r。
测量 色差共焦 透镜中心厚度测量系统 出射光光谱 测量精度 系统设计 激光与光电子学进展
2015, 52(8): 081202
