作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
设计的透镜中心厚度测量系统是一种基于色差共焦原理、能快速自动测量且不接触透镜表面的新型测量系统。为使得测量设备测量范围较大,采取建立多重结构的方式分别消除各个组态内的单色像差,并放大组态间像距的差值以增大系统的位置色差。所设计的光学系统在400~1000 nm 波段范围内产生30 mm 左右的位置色差。使用该光学系统,能使测量设备的最大测量范围达到30 mm 以上。利用研制的设备对3 种不同厚度的透镜进行了实际测量,结果表明:对于厚度为6、15、30 mm 的透镜,设备的测量精度分别为±2.5、±3.5、±5.0 μm。
光学设计 色差共焦 透镜中心厚度测量 测量范围 
激光与光电子学进展
2016, 53(3): 031201
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
透镜中心厚度测量设备是基于色差共焦原理,能快速自动测量透镜的中心厚度,且不接触透镜表面的一种新型设备。通过对该测量系统出射光光谱的研究,得到影响光谱带宽及系统测量精度的因素。研究结果表明,对于峰值波长λ0 的光,其在系统中的像方数值孔径NA ,以及小孔半径r 均会对出射光的光谱有影响。NA 越大,出射光带宽越小,系统测量精度越高;r 越小,出射光带宽越小,系统测量精度越高。根据这一研究结果进行测量系统的设计与仿真,确定了能满足系统测量精度要求的NA 和小孔半径r。
测量 色差共焦 透镜中心厚度测量系统 出射光光谱 测量精度 系统设计 
激光与光电子学进展
2015, 52(8): 081202

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