介绍了刀口法测温原理。在自主研制的铬原子光刻系统上，利用稳定到52Cr的7S3→7P04跃迁上的真空波长为425.5 nm的激光，对高温原子炉喷射的铬原子束进行了一维多普勒冷却准直。设计搭建了刀口法测温实验装置，对激光多普勒冷却准直效果进行了定量评价。在激光功率为45 mW，失谐量为-2.5 MHz，光斑大小为1 mm×20 mm的条件下，观察到了明显的冷却现象。在此基础上采用刀口法测温，测得激光冷却后铬原子束角分布的半峰全宽为(0.616±0.007) mrad，横向温度为(418±10) μK。这些结果为优化调整铬原子束激光冷却准直实验提供了依据。
测量 原子光刻 激光多普勒冷却 刀口测温法 角分布 横向温度
