尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务，由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态，可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该误差对刻划刀具运动轨迹的影响，并使用双频激光干涉仪测量刻划过程中刻划刀具运动的直线度误差。测量结果表明，金刚石刀具系统单向行程400 mm 时，该误差约为200 nm，小于使用石英导轨承载刀具系统时的误差，同时在高频振动方面有明显改善。刻制一段79 gr/mm，400 mm×500 mm 的中阶梯光栅，观察其衍射光斑并使用照度计检测得其不同位置杂散光强度为0.2‰~5‰，实验结果表明使用气浮导轨承载刻划刀具可以满足光栅刻划精度要求。

设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上, 利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离, 降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架运动中产生的误差以及该误差对金刚石刻刀的影响。提出了一种新型检测光路结构, 该结构利用双频激光干涉仪测量运动中刀架相对于导向导轨的位移变化。结果显示, 刀架单向行程约70 mm时, 刀架在光栅刻划阶段相对于导向导轨在分度方向的最大位移值约为60 nm。由于在刻划阶段, 膜层对金刚石刻刀存在约束作用, 所以金刚石刻刀相对于导向导轨的实际位移会更小。利用新的刀架结构刻制了一块70 mm×70 mm, 600 gr/mm的衍射光栅, 对比利用原刀架结构刻制的光栅, 该光栅杂散光强度减弱, 质量提高。