为了修正静压气浮激光点云数据扫描误差，提出了一种基于不同扫描速度下所采集的点云数据，通过最小二乘法分区间建立误差预测模型实现对相应误差修正的新方法。实验结果表明，静压气浮三维测量仪的测量精度随气浮导轨扫描速度变化在特定范围内基本呈二次曲线变化关系，该误差修正方法能够快速、准确地实现静压气浮激光点云数据扫描误差的修正，具有较大的适用性和实际参考价值。

尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务，由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态，可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该误差对刻划刀具运动轨迹的影响，并使用双频激光干涉仪测量刻划过程中刻划刀具运动的直线度误差。测量结果表明，金刚石刀具系统单向行程400 mm 时，该误差约为200 nm，小于使用石英导轨承载刀具系统时的误差，同时在高频振动方面有明显改善。刻制一段79 gr/mm，400 mm×500 mm 的中阶梯光栅，观察其衍射光斑并使用照度计检测得其不同位置杂散光强度为0.2‰~5‰，实验结果表明使用气浮导轨承载刻划刀具可以满足光栅刻划精度要求。

针对已开发的精密直线气浮工作台, 设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小, 抗干扰能力差等问题。设计的阻尼器由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼片正下方的阻尼油槽和阻尼油组成。通过实验获取了阻尼器的阻尼系数, 继而建立了气浮工作台机电控制模型。仿真分析了阻尼器对工作台气浮噪声和动态特性的影响规律：随着阻尼的增大, 气浮工作台的稳定裕度和衰减噪声的能力增加, 但动态响应速度降低。实验表明, 实验结果与所推导的气浮工作台特性一致, 且增加阻尼系数为293.78 N/m·s-1的阻尼器后, 气浮工作台的定位噪声由60 nm(峰峰值)降为20 nm(峰峰值), 位移灵敏度为20 nm, 实验验证了采用此种结构的阻尼器可有效抑制精密气浮工作台定位噪声。

建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究.利用有限元法设计了气浮导轨,分析了气膜压力场的分布情况,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度等性能.静态特性实验表明,开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,X、Y导轨的竖直方向静刚度为276.9 N/μm和333.3 N/μm.设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID参数的自适应在线整定.运动实验表明,改进的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制.H型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高的优点,可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域.