四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064
基于部分相干成像和分数傅里叶变换理论,建立成像系统的分数傅里叶域滤波模型,提出了可快速设计分数域位相型滤波片的FrPI算法.此算法将逆向设计预设初位相与分数傅里叶迭代技术相结合,针对成像系统中不同的设计要求可快速设计出所需的分数域滤波片结构.模拟结果表明,对数值孔径有限的部分相干成像系统,使用新算法设计的分数域滤波片,可有效补偿由于高频损失带来的图像失真,从而使局部线宽偏差和面积偏差分别由滤波前的36.548nm和39.09%下降到了15.234nm和7.72%,明显减?倭丝占湎窕?
相干成像系统 分数傅里叶域滤波片 光刻 FrPI
1 四川大学物理系,成都,610064
2 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
基于部分相干成像和分数傅里叶变换,提出在投影光刻系统中,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法.理论和模拟分析表明:在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器,能增强滤波操作的灵活性和效果,可更有效地改善光刻图形质量,为提高曝光系统的分辨力提供一种新的有效选择.
分数傅里叶域滤波 光学光刻 部分相干成像 瞳孔滤波
