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部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法
杜惊雷 1张怡霄 1杨静 1刘世杰 1[ ... ]杜春雷 2
作者单位
摘要
1 四川大学物理系,成都,610064
2 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
基于部分相干成像和分数傅里叶变换,提出在投影光刻系统中,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法.理论和模拟分析表明:在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器,能增强滤波操作的灵活性和效果,可更有效地改善光刻图形质量,为提高曝光系统的分辨力提供一种新的有效选择.
分数傅里叶域滤波 光学光刻 部分相干成像 瞳孔滤波 
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光子学报
2003, 32(7): 892
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