为了提高表面放电光泵浦源的寿命, 以Al2O3陶瓷作为放电基板, 研制了分段表面放电光泵浦源。基于放电电压和电流波形, 详细研究了泵浦源的放电周期, 放电通道电阻, 能量沉积效率和等离子体功率密度。发现泵浦源的放电周期、放电通道电阻和能量沉积效率均随放电间隙长度和混合气体气压的增大而变大, 随充电电压的增加而减小; 而等离子体功率密度主要取决于充电电压和放电间隙长度, 基本不随混合气体气压的改变而变化。在充电电压为268 kV, 气压为100 kPa, 放电间隙长8 cm的条件下, 泵浦源的能量沉积效率约为82％, 等离子体功率密度达到了936 MW/cm。实验研究表明: Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源具有良好的放电特性, 较同等条件下聚四氟乙烯表面放电光泵浦源的等离子体功率密度更高, 可产生更强的真空紫外辐射, 辐射亮度温度大于23 kK。Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源适用于光泵浦XeF2气体形成大功率XeF(C-A)蓝绿激光。

阐述了分段表面放电光抽运XeF(C-A)激光器的设计和实验技术。分段表面放电辐射源在140nm～170nm辐射区域亮度温度Tb≈15×103K,用该辐射源作抽运源离解XeF2获得了XeF(C-A)蓝绿(470nm～495nm)激光输出,激光脉宽为340ns、光谱宽度为15nm。

研制了用于抽运激光的分段表面放电辐射源。辐射源采用分段表面滑闪放电诱导长距离、线性等离子体通道大电流放电，实现了高亮度真空紫外辐射(140～170nm)，且各段总的放电分散时间小于100ns。用该辐射源解离XeF2获得了XeF(C-A)激光输出。