1 洛阳师范学院物理与电子信息学院, 河南 洛阳 471000
2 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800
3 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所, 河南 洛阳 471000
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理，回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用，并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结，并指明了未来的研究方向。
激光光学 三维微纳加工 时空聚焦技术 加工分辨率 脉冲前沿倾斜 光强平面倾斜 非互逆直写 非线性光电离 激光与光电子学进展
2017, 54(4): 040005
中国科学院,理化技术研究所,有机纳米光子学实验室,北京,100080
建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法,并对加工分辨率进行了研究.通过对高速扫描原理的研究,提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合,利用跳跃和扫描协同的运动模式,以段段扫描方式进行三维微结构加工的系统来提高其加工速度.实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明,采用上述扫描方式可使其加工速度较点点扫描方式提高10倍至1 000倍.实验结果表明,使用一定的激光功率时,其加工分辨率随曝光时间减小而显著提高,实验得到了50 nm的线宽分辨率,超过文献报道的100 nm的最高值.研究还表明,上述加工方法可实现激光三维微结构的快速制备并具有高分辨率加工的特点.
双光子聚合 快速加工 三维微结构 加工分辨率
