1 中国科学技术大学工程科学学院, 安徽 合肥 230026
2 合肥师范学院化学与化学工程学院, 安徽 合肥 230601
3 南通职业大学机械工程学院, 江苏 南通 226007
飞秒激光具有独特的超短脉宽和极高的峰值强度,飞秒激光直写技术已广泛用于功能化微流控芯片的制备。从3个方面针对基于飞秒激光直写技术的微流控芯片进行综述:不同材料微流控芯片中的飞秒激光功能器件集成技术、飞秒激光集成微流控芯片的多功能应用以及微流控芯片的高效率飞秒激光加工技术。通过对飞秒激光直写技术在微流控领域的研究结果进行总结与归纳,为飞秒激光直写技术制备微流控芯片的研究、应用及发展方向提供参考。
激光技术 飞秒激光 微流控芯片 微管道 多功能应用 快速加工 中国激光
2019, 46(10): 1000001
中国科学院,理化技术研究所,有机纳米光子学实验室,北京,100080
建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法,并对加工分辨率进行了研究.通过对高速扫描原理的研究,提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合,利用跳跃和扫描协同的运动模式,以段段扫描方式进行三维微结构加工的系统来提高其加工速度.实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明,采用上述扫描方式可使其加工速度较点点扫描方式提高10倍至1 000倍.实验结果表明,使用一定的激光功率时,其加工分辨率随曝光时间减小而显著提高,实验得到了50 nm的线宽分辨率,超过文献报道的100 nm的最高值.研究还表明,上述加工方法可实现激光三维微结构的快速制备并具有高分辨率加工的特点.
双光子聚合 快速加工 三维微结构 加工分辨率
