1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据，采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合，剔除系统误差，获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式，分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响，并和多次旋转法作了对比，其残差均方根(RMS)值约为1.5 nm。该方法只需一次旋转两次检测，在保证检测精度的同时简化了检测过程。
测量 绝对检测 单次旋转 旋转非对称 光学检测
