北京理工大学光电学院，复杂环境智能感测技术工信部重点实验室，北京 100081
球面光学元件的曲率半径、厚度、折射率、焦距和面形等多参数的高精度检测是光学元件超精密制造的迫切需求，但现有测量方法受层析定焦能力、抗散射能力及抗环境扰动能力的制约，难以实现上述参数的高精度共基准测量。为此，本团队提出了高层析、高分辨、抗散射和抗干扰的激光差动共焦多参数高精度共基准测量方法，并进一步与菲索干涉光路融合，实现了球面元件多参数的高精度、共基准、高效率测量。本文系统地介绍了所提出的激光差动共焦干涉元件参数系列测量方法及其仪器化研究进展，分析了目前存在的问题，展望了未来的发展趋势。
测量 差动共焦干涉 球面光学元件 高精度测量 层析定焦 共基准测量 光学学报
2023, 43(15): 1500003
镜组内各透镜间的轴向间隙是光学系统装配中的一个重要参数。为精确测量镜组内各透镜间的轴向间隙，提出了一种激光共焦镜组间隙测量方法。该方法利用共焦光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性，使用环形激光共焦层析定焦技术对装配后镜组内各透镜表面的顶点位置进行高精度定位，并结合光学追迹方法精确计算各个透镜表面顶点之间的距离，继而得到镜组的轴向间隙。初步的实验表明该方法的重复性可达到0.3 μm 。
测量 激光共焦 层析定焦 透镜组 激光与光电子学进展
2015, 52(3): 031205
