作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春30033
2 中国科学院大学,北京100049
干涉补偿检测系统中检测波前在补偿光路传播中发生退化,不可避免地引入了干涉相干成像像差,使得仪器的传递函数在高频段急剧下降,严重限制了检测精度。建立了一种干涉相干成像像差模型来揭示波前空间频率信息受干涉相干成像像差影响的退化机制,提出了非回转对称波前传播理论来阐述非回转对称波前的演化机理。然后,结合细光束追迹与波前演化的混合分析方法建立了干涉相干成像像差的数学模型,实现了次波前非回转对称传播条件下调频函数的数值化,进一步建立离焦量与波前分布的函数关系。最后,利用干涉补偿检测系统完成模型的实验验证。实验结果表明,实际值与预计值的残差结果均小于0.05 waves,模型的对称平均绝对百分比误差(SMAPE)为8.26%,平均相对误差(MRE)为3.35%,相比亚利桑那大学提出的基于Talbot效应与菲涅尔衍射分析得到的理论模型有更好的契合度。由此验证了该模型的准确性与预测性,该模型对于提高干涉补偿检测的检测精度有重要意义。
光学检测 干涉补偿检测 次波前退化 干涉相干成像像差 optical test interferometric compensation detection subwavefront degradation interferometric coherent imaging aberration 
光学 精密工程
2022, 30(13): 1523
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 同济大学物理系, 上海 200092
零位补偿检验是现代光学用于检测非球面的主流方法。根据实际检测需要,提出既可进行补偿检验,又可进行干涉检验的一种新型干涉零位补偿检验方法。干涉零位补偿检验的原理是:在零位补偿检验的基础上,将零位补偿系统的第一面改为与激光点光源同心的参考面,从同心参考面反射回来的参考波面与通过零位补偿检验系统的待检非球面反射回来的待检波面相干涉实现干涉零位补偿检验的目的。依据三级像差理论,设计了零位补偿检验的光学系统,给出像差理论分析和实际设计评价结果,当待检非球面镜的孔径角2u 小于1 4.5 时,系统的剩余波像差优于λ/170 。通过对该方法进行原理性实验,充分证实,干涉零位补偿检验是行之有效的。
几何光学 干涉补偿 零位补偿 非球面检测 
光学学报
2015, 35(6): 0622003

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