辐照强度均匀性是太阳模拟器的一项重要指标,采用光学积分器进行匀光具有设计复杂和成本高等问题。采用三维打印技术制备的模具,将超高效镜面反射片压制为微球面反射镜片,用两片微球面反射镜片和圆筒形光导管组成新型匀光器,利用光的漫反射原理,得到在150 mm直径光斑上的辐照强度不均匀性为1.12%,该结果达到IEC 60904-9的A级水平。新型匀光器具有结构简单、光源利用率高、造价低廉等特点。

在间接驱动的惯性约束聚变(ICF)驱动器中，为控制靶腔入口及其附近光场的偏振特性及辐照均匀性，采用二维光谱角色散(2D-SSD)、随机相位板(RPP)和正交偏振板(OPCP)联用的束匀滑方案，数值模拟和理论分析了OPCP对焦面及离焦面处光场偏振特性以及强度均匀性的影响，并讨论了正交偏振板单元数的选取问题。结果表明，不同单元数正交偏振板对焦面及其附近光场偏振特性和强度均匀性的影响程度不同，且光场偏振特性对离焦并不敏感。此外，离焦会使强度均匀性变差，适当增加正交偏振板单元数可以在一定程度上减弱这种影响。

点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响，确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出，当用PDI检测数值孔经（NA）为0.3的系统时，采用直径大小为800 nm的小孔较为适宜，其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ，强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时，采用直径大小为500 nm的小孔较为适宜，其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ，强度均匀性为0.664。

相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度，其中小孔的直径是最主要的因素，在实际加工前，需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论，分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下，小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振，给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出，为了获得数值孔径(NA)为0.1，相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005 λ(λ=13.55 nm)，强度均匀性为0.4的参考球面波，对90 nm厚的小孔选择直径大小为70 nm较为适宜。