作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料学院与光电技术学院,北京 101408
用分子束外延系统(MBE)生长高质量GaSb基AlInAsSb四元数字合金制作雪崩光电二极管(APD)。为了克服随机体材料生长方式发生的偏析现象,采用迁移增强的数字合金生长方式,其快门顺序为AlSb,AlAs,AlSb,Sb,In,InAs,In,Sb。其高分辨率X射线衍射(HRXRD)曲线显示出尖锐的卫星峰,并显示出几乎完美的晶格匹配,其原子力显微镜(AFM)图像上也可以观察到光滑的表面形貌。使用优化的数字合金生长方式,制备了分离吸收、渐变、电荷和倍增(SAGCM)型的AlInAsSb数字合金APD。在室温下,器件在95%击穿时,暗电流密度为0.95 mA/cm2,击穿前最大稳定增益高达~100,其器件的高性能显示出光电领域进一步发展的潜力。
雪崩光电二级管 分子束外延 AlInAsSb 四元数字合金 avalanche photodiodes(APD) molecular beam epitaxy(MBE) AlInAsSb quaternary digital alloys 
红外与毫米波学报
2021, 40(2): 172
作者单位
摘要
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室,上海200050
采用气态源分子束外延在InP衬底上生长InAs/InGaAs数字合金应变补偿量子阱激光器.有源区的多量子阱结构由压应变的InAs/In0.53Ga0.47As数字合金三角形势阱和张应变的In0.43Ga0.57As势垒构成.X射线衍射测试表明赝晶生长的量子阱结构具有很高的晶格质量.在100K、130mA连续波工作模式下,激光器的峰值波长达到1.94μm,对应的阈值电流密度为2.58kA/cm2.随着温度升高,激光器的激射光谱出现独特的蓝移现象,这是由于激光器结构中相对较高的内部吸收和弱的光学限制引起最大增益函数斜率降低所导致的.
数字合金 量子阱 分子束外延 digital alloy quantum well molecular beam epitaxy 
红外与毫米波学报
2014, 33(3): 213

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