作者单位
摘要
1 北京大学核物理与核技术国家重点实验室, 北京 100871
2 西北核技术研究所激光与物质相互作用国家重点实验室, 陕西 西安 710024
3 北京激光加速创新中心, 北京 101407
4 北京大学应用物理与技术研究中心, 北京 100871

飞秒激光作用于等离子体可以产生短脉宽、高亮度的极紫外(EUV)辐射,在高分辨率成像、时间分辨谱学等方面都有潜在的应用。为进一步提高辐射亮度,利用相对论飞秒激光与碳纳米管泡沫(CNF)靶相互作用实现了高转换效率的EUV辐射。实验结果表明,当激光能量为1.2 J,CNF密度为4 mg/cm 3时,单发产生的EUV辐射光谱强度在0.1 mJ·nm -1·sr -1量级。相比高密度固体靶,采用低密度CNF靶可以有效地提高激光吸收率,进而实现两个量级的EUV辐射效率增益。同时发现,基于CNF的EUV辐射在15~30 nm波长范围内具有准连续的宽谱特征,适合于超快吸收光谱等应用。

X射线光学 极紫外辐射 飞秒激光 碳纳米管泡沫 宽谱辐射 
光学学报
2022, 42(11): 1134021
作者单位
摘要
长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022
开展结构Sn靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究,对波长为1064 nm的脉冲激光等离子体产生的极紫外光谱进行研究。实验结果表明,当激光能量为500 mJ,结构靶凹槽深度为100 μm、宽度为300 μm时,结构靶凹槽产生13.5 nm(2%带宽)带内光辐射积分强度的增强倍率约为平面靶的1.57倍。同时发现,凹槽对激光等离子体膨胀具有抑制作用,导致不同凹槽宽度产生最佳增强倍率所对应的激光能量不同。研究聚焦光斑尺寸对结构靶产生极紫外光辐射的影响。实验结果表明,当聚焦光斑直径与凹槽宽度接近时,凹槽的13.5 nm(2%带宽)带内光辐射积分强度的增强倍率最高。此项研究对提高极紫外光辐射强度及转换效率具有重要意义。
光谱学 极紫外辐射 激光等离子体 结构靶 光刻光源 
中国激光
2021, 48(16): 1601005
作者单位
摘要
1 东北林业大学理学院, 黑龙江 哈尔滨 150040
2 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150001
等离子体状态是决定极紫外光源功率和转换效率的最重要因素之一, 理论和实验研究上Xe气流量对放电等离子体极紫外光源辐射谱和等离子体状态的影响, 对于优化光源工作条件具有重要的意义。 理论上, 采用碰撞-辐射模型, 模拟了非局部热力学平衡条件下, 不同电离度的离子丰度分布随电子温度和离子密度的变化。 推导了Xe8+~Xe11+离子4d-5p跃迁谱线强度随电子温度的变化趋势。 实验上, 采用毛细管放电机制, 利用罗兰圆谱仪测量和分析了不同等离子体密度条件下, 放电等离子体极紫外光谱的变化, 分析了Xe气流量对等离子体状态的影响。 理论和实验结果表明: 相同的电流条件下, 等离子体箍缩时的平均电子温度随着Xe气流量的增加而降低。 对于4d-5p跃迁, 低电离度离子与高电离度离子谱线强度的比值随着温度的增加而减少。 电流28 kA、 Xe气流量0.4 sccm(cm3·min-1)时, 等离子体Z 箍缩平均电子温度位于29 eV附近。 Xe气流量增加时, 受离子密度和最佳电子温度的影响, 实现Xe10+离子4d-5p跃迁13.5 nm(2%带宽)辐射谱线强度最优化的Xe气流量位于0.3~0.4 sccm之间。
放电等离子体 极紫外辐射 毛细管放电 极紫外光源 Discharge produced plasma EUV emission Capillary discharge EUV source 
光谱学与光谱分析
2017, 37(8): 2560
作者单位
摘要
1 华中科技大学光电子科学与工程学院, 武汉光电国家实验室, 湖北 武汉430074
2 武汉工程大学理学院, 湖北 武汉430074
研究了不同条件下脉冲放电CO2激光烧蚀平板锡靶产生的等离子体极紫外辐射特性, 设计并建立了一套掠入射极紫外平焦场光栅光谱仪, 结合X射线CCD探测了光源在6.5~16.8 nm波段的时间积分辐射光谱, 得到了极紫外光谱随激光脉宽, 入射脉冲能量及背景气压的变化规律。 实验结果发现: 入射激光脉冲能量在30~600 mJ变化时, 极紫外辐射光谱的强度随辐照激光脉冲能量的增加而增加, 但并不是线性关系, 具有饱和效应, 且产生极紫外辐射的脉冲能量阈值约为30 mJ, 当激光脉冲能量为425 mJ时具有最高的转换效率, 此时中心波长13.5 nm处2%带宽内的转换效率约为1.2%。 激光脉冲半高全宽在50~120 ns范围内变化时, 极紫外辐射光谱的峰值位置均位于13.5 nm, 光谱形状几乎没有什么变化, 但是脉宽从120 ns变到52 ns后, 由于激光功率密度的提高, 极紫外辐射强度也随之增强了约1.6倍。 极紫外光谱的强度随背景气压的增大而迅速下降, 当腔内空气气压为200 Pa时, 极紫外辐射光子几乎被全部吸收, 而当缓冲氦气气压为7×104 Pa时, 仍能够探测到微弱的极紫外辐射信号, 计算表明100 Pa的空气对13.5 nm极紫外光的吸收系数为3.0 m-1, 而100 Pa的He气的吸收系数为0.96 m-1。
激光等离子体 极紫外辐射 CO2激光 缓冲气体 Laser plasma EUV emission CO2 laser Buffer gas 
光谱学与光谱分析
2012, 32(7): 1729
作者单位
摘要
BESSY,Berlin,Germany
综述了过去10年中德国BESSY同步辐射装置在软X射线偏振测量方面所做的工作.在BESSY同步辐射装置中,有10条椭圆波动器光束线,这可使同步加速器辐射的偏振态从线偏振光(水平或者垂直)转变为左旋或右旋圆偏振光.由于很多偏振敏感实验(例如,MCD光谱测量)需要归一化量,因此对偏振度进行量化非常重要.对于偏振实验,即对光的偏振态测量来说,需要两个光学元件分别起相位片和检偏器作用.因此,专门研制了在软X射线区有透射和反射功能的多层膜,并对其做了优化.通过使多层膜参数(周期,厚度比)与构成材料的吸收边相匹配,即可获得共振加强的偏振灵敏度.由此可知,基于多层膜的偏振测量与这些偏振光学元件工作波长处性能测量密切相关,文中对仪器的设置和测试结果做了介绍,同时给出了磁性薄膜或光活化物质的磁光光谱测量和偏振测量的示例(法拉第和克尔效应).
多层膜 软X射线 极紫外辐射 同步辐射 偏振测量 检偏器 相位片 反射率 磁光效应 multilayer soft X-ray radiation EUV radiation synchrotron radiation polarimetry linear analyser phase plate reflectivity magneto-optic instrument 
光学 精密工程
2007, 15(12): 1850

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