提出一种间接测量平面接触刚度的方法，准确量化粗糙表面的接触刚度，使得整个支架系统的固有频率模拟与测试结果得到良好的匹配。基于接触刚度模型、ANSYS有限元模拟方法以及模态测试方法，以地脚螺栓固定方式的测试件为例，验证了间接测量方法的准确性，使接触刚度得到准确量化。该方法可以为提高加速器磁铁支架系统的整体刚度提供依据。

为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元, 提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理, 根据结构参数计算出了详细的性能指标, 并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真。为提高各敏感模态的机械灵敏度, 提出采用双重静电频率调谐方案, 即先对公共质量块施加调谐电压, 使驱动模态和航向模态的频差最小; 再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压, 最终使四模态频率偏差小于30 Hz, 从而说明该频率调谐方法是有效的。然后, 通过分析热弹性阻尼能量耗散机理, 对驱动及敏感谐振模态的品质因数进行仿真。结果表明: 真空环境不考虑空气阻尼情况下, 两种模态的品质因数分别为23 816和19 507。最后, 基于表面加工和体加工工艺, 设计了高深宽比的加工流程。对该四方对称解耦结构的设计和仿真表明其模态匹配和品质因数性能满足三轴陀螺的设计要求。