南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
为抑制Φ600 mm相移式菲佐干涉仪中波长调谐误差以及振动带来的测量误差，提出了一种可用于波长调谐移相干涉仪的误差校正方法。将4幅载频干涉图按列交叠重构得到时空条纹图，由于载频的存在实现了误差谱与相位谱的分离，提取相位谱就可以正确解包相位。存在波长调谐误差和振动的情况下，仿真结果表明利用载频交叠重构干涉术，相位恢复精度是传统移相算法精度的10倍以上；实验结果显示，载频交叠重构干涉术的测量精度为0.0066λ。利用载频交叠重构干涉术能够有效抑制Φ600干涉仪中波长调谐误差与振动造成的测量误差。
测量 光学测量 波长调谐移相技术 Φ600干涉仪 相移误差
