1 华侨大学信息科学与工程学院, 福建省光传输与变换重点实验室, 福建 厦门 361021
2 集美大学信息工程学院, 福建 厦门 361021
采用传统紫外光刻技术与激光双光束干涉光刻技术相结合的方法,以及激光双光束干涉连续两次曝光的工艺方法,制备了具有多种形貌和周期的微纳米复合结构,解决了利用传统激光干涉加工技术制备微结构的形貌和周期单一的问题。通过优化实验条件,制备出了微米条形光栅、矩形、圆形和六边形点阵与纳米光栅相结合的微纳米复合结构;在玻璃/银膜/CH3NH3PbI3结构中引入微纳米复合光栅结构,CH3NH3PbI3的吸收在可见光范围内得到明显增强,这主要归因于微米光栅的散射效应和银膜/CH3NH3PbI3界面表面等离子激元的电场增强效应的共同作用。
光栅 微纳米复合结构 紫外光刻 激光双光束干涉工艺 多形貌 多周期 激光与光电子学进展
2019, 56(12): 120501
