1 西安建筑科技大学 材料与矿资学院 功能材料研究所, 西安 710055
2 西北工业大学 凝固技术国家重点实验室, 西安 710072
3 西安中科微精光子制造科技有限公司, 西安 710199
将不同脉冲数的飞秒激光作用于陶瓷材料表面, 研究了线偏振和圆偏振激光对氧化锆和氧化铝陶瓷材料烧蚀阈值的影响, 利用光学显微镜和扫描电子显微镜分析了烧蚀坑表面形貌, 利用激光扫描共聚焦显微镜确定了烧蚀坑深度.结果表明：两种材料在线偏振光下的饱和烧蚀阈值均小于在圆偏振光下的值; 当偏振态相同时, 氧化锆饱和烧蚀阈值小于氧化铝.随脉冲数增加, 线偏振和圆偏振光下氧化锆烧蚀坑表面结构均由无序向有序发展, 出现了周期性环形波纹结构和纳米孔洞阵列.与线偏振光相比, 圆偏振光对烧蚀坑深度的作用更明显, 且烧蚀坑表面形貌对能量密度变化比较敏感, 更容易产生周期性结构.
飞秒激光 偏振态 点烧蚀 多脉冲 氧化锆陶瓷 氧化铝陶瓷 Femtosecond laser Polarization state Point ablation Multipulses Zirconia ceramic Alumina ceramic
