作者单位
摘要
1 华东师范大学 物理与电子科学学院,上海 200241
2 华南理工大学 广东省半导体照明与信息化工程技术研究中心,广州 510641
介质沿空间固定方向均匀分布的结构在电磁导波器件中有十分广泛的应用,对这类器件的分析通常被称为2.5D电磁问题。利用器件在固定方向介质分布均匀的特点,将电磁场量沿该方向进行空间傅里叶变换,可以把对三维问题的分析转化为两维问题求解,从而极大地减小计算开销。针对传统基于差分的2.5D电磁场算法在弯曲形状逼近上有阶梯误差的缺陷,本文提出了基于三角形网格的2.5D时域间断有限元方法(DGTD),并用它模拟了电偶极子与光纤的耦合效率和光子晶体光纤的色散特性。与基于规则网格的2.5D差分方法进行对比。结果表明,文中建立的2.5D DGTD方法对弯曲形状的模拟更加逼真,计算内存占用最大减少10.4%,计算精度最大相差0.011%,计算时间缩短74.9%,计算效率提高。
时域间断有限元 电磁场分析 光纤 discontinuous Galerkin time-domain method 2.5D 2.5-dimensional FDTD FDTD electromagnetic field analysis optical fibers 
强激光与粒子束
2021, 33(7): 073010
作者单位
摘要
南京邮电大学 光电工程学院, 南京 210023
为研究在大尺寸的光子器件中电磁场的传播特性,建立了一种基于小波基的时域有限差分(FDTD)数值计算方法,并在计算机集群系统中实现其并行化运算.该方法相较于标准的FDTD方法,具有更好的数值色散特性,大大减少了计算空间网格数,从而减少了内存的使用;且并行化计算大大减少了运算时间.验证了该方法的有效性,分析了影响并行运算效率的主要因素,并建立了一个估算模拟运算时间的数学模型.
电磁场分析 小波基 时域有限差分 并行计算 electromagnetic field analysis wavelet transform FDTD parallel computation 
半导体光电
2015, 36(3): 386
作者单位
摘要
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行磁悬浮系统电磁场分析的基础上,将磁力计算结果调入CAE软件MSC PATRAN/NASTRAN中,磁力计算与结构力学综合分析计算,合理地评价了磁悬浮移动平台的性能.进行了磁悬浮工作台的模态测试,模态测试结果与有限元分析结果相符合,证明了文中的建模方法及分析计算结果是正确的.通过有限元分析与模态测试,找出了薄弱环节,对结构进行了改进.
磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 电磁场分析 结构力学分析 模态分析 模态测试 CAD/CAE 
光学 精密工程
2004, 12(z2): 217

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