1 海南师范大学物理与电子工程学院海南省激光技术与光电子功能材料重点实验室，半导体激光海南省国际联合研究中心，海南 海口 571158
2 新加坡南洋理工大学电气与电子工程学院，新加坡 639798
3 新加坡南洋理工大学淡马锡实验室，新加坡 637553
4 中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室，北京 100083
5 长春理工大学高功率半导体激光器国家重点实验室，吉林 长春 130022
2 μm波长附近可调谐半导体激光器在分子光谱学和光通信领域中有广阔的应用前景。基于绝缘体上硅（SOI）平台，对2 μm波长附近可调谐半导体激光器的外腔部分进行了设计优化。分析了不同尺寸光波导的模式损耗特性、单个微环谐振腔受总线波导耦合间距的作用以及总线波导光反馈终端对外腔半导体激光器性能的影响。并提出了一种具有高工艺兼容度的多模环形光波导光反馈结构。所设计的可调谐半导体激光器硅基外腔可通过环形波导上的镍铬合金微加热器进行0.1 nm/K的高精度调谐，对单个微加热器施加3.2 V电压时，调谐范围可达66 nm（1967~2033 nm）。
硅光集成 可调谐外腔半导体激光器 环形谐振腔 光波导终端
进一步研究二个问题：(1)理论模拟的方法由快速傅里叶束传播法(FFT-BPM)改为有限差分束传播法(FD-BPM)，并比较了两者的优缺点。(2)模拟设计了对象提高为由GeSi合金单模脊形光波导组成的Ｙ级联1×4光分束器。结果表明，有限差分束传播法比快速傅里叶束传播法及显形有限差分束传播法(EFD-BPM)，除了数学比较容易外，计算速度也快一些。尤其是对传播步长Δz的敏感性，有限差分束传播法远没有快速傅里叶束传播法那样严重，便利了束传播法方法的采用。正如束传播法成功地应用于GeSi合金光波导及Y分支器的理论设计，现在用了1×4Y级联分束器同样得到预想的结果。光束在分束器中传播逐步分成二束再分为四束。符合设计要求。
硅光集成 光分束器 束传播法
1 天津大学电子工程系, 天津 300072
2 清华大学电于工程系, 北京 100084
报道锗硅合金在λ＝1.3 μm的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果.这种光波导的传播损耗已达0.7 dB/cm.脊形的高4～8 μm，宽8～12 μm，均和单模光纤芯径相当.此外，其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模光纤匹配，它已满足硅光集成对光波导的要求.文中最后报道了用这种锗硅合金光波导试制Y分支器，并观察到二支分路输出的单模光斑.
硅光集成 锗硅光波导
