李世光 1,2,3,*†郭磊 1,2,3,**†曾海峰 1,2,3戢逸云 1,2,3[ ... ]肖燕青 3
作者单位
摘要
1 中国科学院大学集成电路学院,北京 100049
2 中国科学院微电子研究所成果转化部,北京 100029
3 江苏影速集成电路装备股份有限公司,江苏 徐州 221300

光刻技术中的聚焦控制对曝光质量有直接的影响。曝光过程中,为保证良率,曝光区域需要时刻处于焦深范围内。通过建立数学模型,探讨了光刻机系统总离焦量与产品良率的关系,而光刻机的总离焦量又是多种离焦误差共同作用的结果。研究了先进的双工件台光刻系统和应用于掩模板制造的数字微反射镜装置光刻系统的工作流程,分析了与聚焦控制密切相关的若干离焦误差。在诸多误差因素当中,调焦调平传感器对总离焦量有着重要影响,光刻机的聚焦控制很大程度依赖于调焦调平传感器的准确测量。对Canon、Nikon和ASML的调焦调平传感器进行了调研,对比研究各自的传感器原理和结构,为光刻机的聚焦控制分析提供参考。

光刻 焦深 聚焦控制 良率 离焦误差 调焦调平 
激光与光电子学进展
2022, 59(9): 0922016
作者单位
摘要
1 上海交通大学 机械与动力工程学院, 上海 200240
2 上海交通大学 电子信息与电气工程学院, 上海 200240
自动对焦是全自动显微镜的关键技术, 决定着显微镜成像的精确性和实时性。对焦方法包括主动式和被动式两种, 主动式是指基于数字图像处理的对焦方法, 被动式是指基于光学离焦量检测的对焦方法。介绍了两种方法的原理和研究现状, 通过比较其优缺点, 总结出基于离焦误差检测的主动式对焦方法具有更高的精度和速度, 更适用于全自动显微镜系统。
应用光学 全自动显微镜 自动对焦方法 离焦误差检测 applied optics automated microscopy autofocus method defocus error detection 
光学技术
2014, 40(1): 84
作者单位
摘要
清华大学 精密仪器与机械学系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
灯检机是利用机器视觉技术对药液中可见异物进行检测的机器。为了利用全自动灯检机获取中药液杂质粒径和其成像大小之间的精确标定曲线,提出了基于正交双目视觉的杂质粒径标定方法。首先,根据空间匹配建立杂质颗粒在正交相机图像中的对应关系,得到杂质颗粒在图像中的三维空间坐标; 然后,根据杂质颗粒的坐标计算由柱形瓶装药液带来的一维放大率误差并对杂质颗粒图像进行图像几何校正,再根据杂质颗粒坐标进行杂质离焦误差系数计算,从而获得杂质颗粒图像大小的精确值。对滴加了粒径为50 μm的标准颗粒的西林水剂瓶进行粒径标定,使杂质粒径测定值的离散度系数从0.11降低到了0.05。实验表明,此方法可以获得高精度的粒径标定曲线,实现灯检机对药液中杂质粒径的精确判定。
灯检机 粒径标定 正交双目视觉 图像几何校正 离焦误差 intelligent inspection machine particle size calibration orthogonal binocular vision geometric image correction defocused error 
光学 精密工程
2013, 21(10): 2603
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
为了实现1.23 m望远镜在环境温度从-35℃~+55 ℃变化范围内,光机系统的成像质量的指标要求,本文从原理上分析了温度变化对光机系统中光学元件面形准确度及相对位置关系的影响,推导出了主次镜间光学间隔变化与像面离焦量的比例关系.通过对1.23 m望远镜光学结构的像质分析,结合光机结构设计,搭建了适合环境温度变化的光机系统,从方案设计上满足了望远镜系统的成像要求.通过实际的成像实验,验证了温度变化导致的主次镜光学间隔变化对望远镜系统成像带来的离焦的影响,并给出了具体的温度补偿措施,即采取次镜调焦的方式,可满足具体观测实验的要求.同时,为今后1.23 m望远镜以及类似的大口径望远镜系统的实验和技术改造提出了切实可行的意见.
光机系统 温度影响 大口径望远镜 离焦误差 Opto-mechanical system Influence of the thermal diversification Large aperture of telescope Defocus error 
光子学报
2012, 41(1): 26
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
通过对1.23 m口径望远镜光学结构的像质分析,结合光机结构设计,搭建了适合仰角从0°~90°范围运动的光机系统,从方案设计上满足了望远镜系统的成像要求。但是在重力场中,随着望远镜俯仰角的变化,主次镜会产生相对的弯沉和倾斜,进而对系统成像质量产生影响。通过实际的成像实验,也验证了仰角变化对望远镜系统成像带来的离焦的影响,并给出了具体的系统补偿措施,满足了实际观测实验的要求。同时,为今后1.23 m望远镜以及类似的大口径望远镜系统的实验和技术改造提出了切实可行的意见。
光学设计 光机系统 仰角变化影响 大口径望远镜 离焦误差 
激光与光电子学进展
2012, 49(3): 032201
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
2 哈尔滨工程大学理学院, 黑龙江 哈尔滨 150001
从几何光学角度出发,分别对含有像散和彗差的波前编码系统成像特性进行了分析,推导了含有像散和彗差波前编码系统的光线像差,计算了光线像差的上下边界。通过光线像差及点列图分析了波前编码系统对像散和彗差的敏感程度。结果表明,当系统同时含有离焦像差和像散时,光线像差较仅含离焦像差的波前编码系统有所放大,点列图弥散程度增加,进而使系统调制传递函数(MTF)有较大程度的下降,影响中间图像的可复原能力,但其仍保持着较好的离焦不变特性。当系统同时含有离焦像差和彗差时,由于切向和径向的光线像差及点列图变化并不对称,彗差的存在对系统的离焦不变特性及图像的可复原性均产生影响,不仅使系统对中间图像的可复原能力降低,也使两方向的离焦不变特性有所不同。
波前编码 离焦误差 像散 彗差 光线像差 
光学学报
2011, 31(12): 1211005

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!