朱振 1肖成峰 1夏伟 1,2张新 1[ ... ]徐现刚 1,3
作者单位
摘要
1 山东华光光电子股份有限公司, 山东 济南 250100
2 济南大学物理科学与技术学院, 山东 济南 250100
3 山东大学晶体材料国家重点实验室, 山东 济南 250100
设计并制备了一款短波长红光640 nm的大功率半导体激光器。利用金属有机化学气相沉积技术生长了AlGaInP材料的激光器外延层,其中,限制层使用低折射率的AlInP材料,有源区使用张应变的GaInP/AlGaInP量子阱。外延层有源区的光致发光谱出现两个分裂的发光峰,位于627 nm及616 nm处,分别对应于电子到轻空穴及重空穴的跃迁。对芯片窗口区域进行选择性Zn扩散,量子阱原子发生混杂,波长蓝移了43 nm。不带非吸收窗口的器件在1.9 A发生腔面灾变性光学损伤(COD),功率为1.4 W。而带窗口结构的器件没有产生COD,功率输出受限于热饱和,最大功率为2.3 W。室温连续电流测试,1 A下波长为639 nm,1.5 A下波长为640 nm。器件水平发散角为6°,垂直发散角为41°。
激光器 二极管激光器 窗口结构 热饱和 张应变 
激光与光电子学进展
2018, 55(8): 081403
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所,北京 100083
2 北京工业大学电子工程系和北京市光电子技术实验室,北京 100022
对SiO2薄膜在快速热退火条件下引起的空位诱导InGaAs/GaAs应变量子阱无序和SrF2薄膜抑制其量子阱无序的方法进行了实验研究。并将这两种技术的结合(称为选择区域量子阱无序技术)应用于脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器,研制出具有无吸收镜面的窗口结构脊形波导量子阱激光器。该结构3μm条宽激光器的最大输出功率为340 mW,和没有窗口的同样结构的量子阱激光器相比,最大输出功率提高了36%。在100 mW输出功率下,发射光谱中心波长为978 nm,光谱半宽为1.2 nm。平行和垂直方向远场发散角分别为7.2°和30°
量子阱无序 窗口结构 应变量子阱 半导体激光器 
中国激光
1998, 25(12): 1078

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